公开(公告)号：CN101107568A

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：CN200680002775.6

申请日：2006-01-20

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： C·贝克-威灵格 ,  P·卡尔梅斯 ,  H·施米特 ,  桧野悦子 ,  野口光敏 ,  斋藤义一 ,  大熊典夫

IPC: G03F7/075 ,  C08G77/14 ,  C08L83/06

CPC classification number: G03F7/0757 ,  C08L83/06 ,  Y10T428/24802 ,  Y10T428/269 ,  Y10T428/31511 ,  Y10T428/31525 ,  Y10T428/31529 ,  Y10T428/31663 ,  C08L2666/14

Abstract: 可聚合复合组合物适合于在固化后为基材提供图案化涂层或图案化模制品，所述可聚合复合组合物包含：a)以下物质的水解产物和/或缩合物：至少一种含至少一个烷基的可水解烷基硅烷、至少一种含至少一个芳基的可水解芳基硅烷或至少一种含至少一个烷芳基的可水解烷芳基硅烷，和至少一种含环氧基的可水解硅烷，b)至少一种含至少2个环氧基的有机化合物，和c)阳离子引发剂。所获得的图案化涂层和模制品显示高的松弛能力、高的耐化学品性和机械稳定性。可以获得具有高的形状稳定性的微图案。

公开(公告)号：CN101107568B

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN200680002775.6

申请日：2006-01-20

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： C·贝克-威灵格 ,  P·卡尔梅斯 ,  H·施米特 ,  桧野悦子 ,  野口光敏 ,  斋藤义一 ,  大熊典夫

IPC: G03F7/075 ,  C08G77/14 ,  C08L83/06

CPC classification number: G03F7/0757 ,  C08L83/06 ,  Y10T428/24802 ,  Y10T428/269 ,  Y10T428/31511 ,  Y10T428/31525 ,  Y10T428/31529 ,  Y10T428/31663 ,  C08L2666/14

Abstract: 可聚合复合组合物适合于在固化后为基材提供图案化涂层或图案化模制品，所述可聚合复合组合物包含：a)以下物质的水解产物和/或缩合物：至少一种含至少一个烷基的可水解烷基硅烷、至少一种含至少一个芳基的可水解芳基硅烷或至少一种含至少一个烷芳基的可水解烷芳基硅烷，和至少一种含环氧基的可水解硅烷，b)至少一种含至少2个环氧基的有机化合物，和c)阳离子引发剂。所获得的图案化涂层和模制品显示高的松弛能力、高的耐化学品性和机械稳定性。可以获得具有高的形状稳定性的微图案。