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公开(公告)号：CN1900828B
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN200610105988.3
申请日：2006-07-21
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70091 , G03F7/70566
Abstract: 提供一种分辨力良好的曝光方法和装置。曝光装置使用来自光源的光和光学系统将标线片图形曝光到被曝光体；其特征在于：具有测量部分和控制部分；该测量部分对通过上述光学系统的上述光的偏振信息进行测量；该控制部分根据上述测量部分的测量结果对上述光源和上述光学系统中的至少一个的曝光参数进行控制；上述偏振光信息包含与光轴垂直的相互直交的二方向的偏振光强度、偏振光强度比、偏振度、及相位差中至少一个。
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公开(公告)号：CN114114847A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111018293.2
申请日：2021-09-01
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 高桥和弘
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了曝光装置、曝光方法、以及用于制造半导体装置的方法。曝光装置包括照明光学系统、投影光学系统、以及控制器，所述照明光学系统用于照明包括周期图案的原版，所述投影光学系统用于在基板上形成所述原版的图像，所述控制器被配置为使来自所述照明光学系统的光斜入射在所述原版上使得由衍射光束在所述投影光学系统的光瞳区域中形成光强度分布，并且控制所述基板的曝光使得所述基板的投射区域中的每个点在不少于两个聚焦状态下被曝光，所述光强度分布相对于经过所述光瞳区域的原点并且与所述周期图案的周期方向正交的线线对称，所述衍射光束包括来自所述周期图案的不低于2阶的衍射光。
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公开(公告)号：CN1741178A
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN200510088735.5
申请日：2005-07-29
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 高桥和弘
CPC classification number: G11B27/329
Abstract: 一种再现装置，包括：再现单元，用来从记录介质再现内容数据；管理单元，用来将记录在记录介质上的多个内容数据分入多个组中；以及控制单元，响应于停止再现内容数据，该控制单元将用来将内容数据分入其中一个组的询问信息输出到显示装置。
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公开(公告)号：CN1741178B
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：CN200510088735.5
申请日：2005-07-29
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 高桥和弘
CPC classification number: G11B27/329
Abstract: 一种再现装置，包括：再现单元，用来从记录介质再现内容数据；管理单元，用来将记录在记录介质上的多个内容数据分入多个组中；以及控制单元，响应于停止再现内容数据，该控制单元将用来将内容数据分入其中一个组的询问信息输出到显示装置。
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公开(公告)号：CN1163532A
公开(公告)日：1997-10-29
申请号：CN97102156.2
申请日：1997-01-24
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H04N5/7755 , H04N5/77 , H04N5/772
Abstract: 摄像机和记录与重现装置，每个都包括有配置的通信电路，通过频谱扩展通信方法调制从图像拾取单元输出的视频信号，并通过无线电通信，将已调制的视频信号发射至外部的监视器。每个摄像机和每个记录与重现装置还包括记录与重现部分，将由图像拾取单元输出的视频信号记录在记录媒体上和从记录媒体上重现此视频信号，以及一个装置，根据记录与重现部分的工作状态，使通信电路进入发射状态。
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公开(公告)号：CN102474585B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201080036685.5
申请日：2010-07-01
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 高桥和弘
CPC classification number: H04N5/147
Abstract: CPU在分割帧位置处分割运动图像文件，由此生成包括第一个帧的第一分割后运动图像文件和其它分割后运动图像文件。CPU从其它分割后运动图像文件中检测在再现顺序中第一次出现被摄体的帧位置，并生成描述所检测到的位置的文件作为新的面部信息管理文件。CPU控制记录/再现控制电路将所生成的新的面部信息管理文件与其它分割后运动图像文件相关联地存储在记录介质中。
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公开(公告)号：CN102474585A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080036685.5
申请日：2010-07-01
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 高桥和弘
CPC classification number: H04N5/147
Abstract: CPU在分割帧位置处分割运动图像文件，由此生成包括第一个帧的第一分割后运动图像文件和其它分割后运动图像文件。CPU从其它分割后运动图像文件中检测在再现顺序中第一次出现被摄体的帧位置，并生成描述所检测到的位置的文件作为新的面部信息管理文件。CPU控制记录/再现控制电路将所生成的新的面部信息管理文件与其它分割后运动图像文件相关联地存储在记录介质中。
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公开(公告)号：CN1900828A
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：CN200610105988.3
申请日：2006-07-21
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70091 , G03F7/70566
Abstract: 提供一种分辨力良好的曝光方法和装置。曝光装置使用来自光源的光和光学系统将标线片图形曝光到被曝光体；其特征在于：具有测量部分和控制部分；该测量部分对通过上述光学系统的上述光的偏振信息进行测量；该控制部分根据上述测量部分的测量结果对上述光源和上述光学系统中的至少一个的曝光参数进行控制；上述偏振光信息包含与光轴平行的相互直交的二方向的偏振光强度、偏振光强度比、偏振度、及相位差中至少一个。
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公开(公告)号：CN1074631C
公开(公告)日：2001-11-07
申请号：CN97102156.2
申请日：1997-01-24
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H04N5/7755 , H04N5/77 , H04N5/772
Abstract: 图象拾取设备和记录设备，每个都包括有配置的通信电路，通过频谱扩展通信方法调制从图像拾取单元输出的视频信号，并通过无线电通信，将已调制的视频信号发射至外部的监视器。每个图象拾取设备和每个记录设备还包括记录与重现部分，将由图像拾取单元输出的视频信号记录在记录媒体上和从记录媒体上重现此视频信号，以及一个装置，根据记录与重现部分的工作状态，使通信电路进入发射状态。
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