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公开(公告)号：CN112147855B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202010587042.5
申请日：2020-06-24
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明提供一种保持装置、曝光装置、物品制造方法。为了提供能够以再现光学面的形状的方式保持光学元件的保持装置，本发明所涉及的保持装置以使光学元件的光学面的面法线与重力方向非平行的方式，保持光学元件，其中，具备：保持光学元件的台座及载置台座的载置台，台座及载置台相互针对的接触面的一方是曲面；以及按压机构，夹着与面法线垂直的第1剖面，从两侧以预定的按压力按压光学元件。
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公开(公告)号：CN112147855A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202010587042.5
申请日：2020-06-24
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明提供一种保持装置、曝光装置、物品制造方法。为了提供能够以再现光学面的形状的方式保持光学元件的保持装置，本发明所涉及的保持装置以使光学元件的光学面的面法线与重力方向非平行的方式，保持光学元件，其中，具备：保持光学元件的台座及载置台座的载置台，台座及载置台相互针对的接触面的一方是曲面；以及按压机构，夹着与面法线垂直的第1剖面，从两侧以预定的按压力按压光学元件。
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公开(公告)号：CN111736298A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010216319.3
申请日：2020-03-25
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 辻穣
Abstract: 本公开涉及光学装置、曝光装置以及物品制造方法。光学装置具备：光学零件；支撑机构，具有支撑所述光学零件的支撑部及限制所述光学零件在第1方向上的位置的位置限制部；以及操作机构，用于对所述光学零件在与所述第1方向不同的第2方向上施加力，操作所述光学零件。所述操作机构包括：接触部，与所述光学零件接触；操作部，使所述接触部在所述第2方向上移动；以及连结部，连结所述接触部和所述操作部。所述连结部构成为能够关于所述第1方向使所述操作部和所述接触部相对地移动。
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公开(公告)号：CN111736298B
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202010216319.3
申请日：2020-03-25
Applicant: 佳能株式会社(JP)
Inventor： 辻穣
Abstract: 本公开涉及光学装置、曝光装置以及物品制造方法。光学装置具备：光学零件；支撑机构，具有支撑所述光学零件的支撑部及限制所述光学零件在第1方向上的位置的位置限制部；以及操作机构，用于对所述光学零件在与所述第1方向不同的第2方向上施加力，操作所述光学零件。所述操作机构包括：接触部，与所述光学零件接触；操作部，使所述接触部在所述第2方向上移动；以及连结部，连结所述接触部和所述操作部。所述连结部构成为能够关于所述第1方向使所述操作部和所述接触部相对地移动。
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公开(公告)号：CN102141680A
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN201110030653.0
申请日：2011-01-28
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G02B3/14 , G02B26/005 , G02B27/0068
Abstract: 本发明涉及可变焦透镜。本发明的可变焦透镜通过改变第一界面和第二界面的形状中的每一个来改变折光力，所述第一界面由具有相互不同的折射率的第一液体和第二液体形成，所述第二界面由具有相互不同的折射率的所述第二液体和第三液体形成。由此，所述可变焦透镜改变第一界面和第二界面，使得第一界面的折光力的符号和第二界面的折光力的符号相互不同。
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