公开(公告)号：CN1106662C

公开(公告)日：2003-04-23

申请号：CN96121577.1

申请日：1996-12-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 藤井明 ,  鲈英俊 ,  山口英司

IPC: H01J9/02 ,  H01J1/316 ,  H01J31/12

CPC classification number: H01J9/027

Abstract: 一种几乎不受驱动电压变化影响的电子发生装置，一种使用该电子发生装置的成像装置，以及一种制造和调节这些装置的方法。一个多电子束源(300)的行布线层由一个控制电路(302)顺序有选择地控制，并且施加了一个脉冲电压，其值是一个直流电压源(301)输出的正常驱动电压的最大值1.05到1.5倍。多电子束源(300)的所有表面传导电子发射器件的特性被偏移到高电势侧。

公开(公告)号：CN1159070A

公开(公告)日：1997-09-10

申请号：CN96121577.1

申请日：1996-12-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 藤井明 ,  鲈英俊 ,  山口英司

IPC: H01J31/00

CPC classification number: H01J9/027

Abstract: 一种几乎不受驱动电压变化影响的电子发生装置，一种使用该电子发生装置的成像装置，以及一种制造和调节这些装置的方法。一个多电子束源(300)的行布线层由一个控制电路(302)顺序有选择地控制，并且施加了一个脉冲电压，其值是一个直流电压源(301)输出的正常驱动电压的最大值1.05到1.5倍。多电子束源(300)的所有表面传导电子发射器件的特性被偏移到高电势侧。