光学元件、使用该光学元件的光学系统及光学装置

    公开(公告)号:CN102901996B

    公开(公告)日:2015-02-11

    申请号:CN201210255977.9

    申请日:2012-07-23

    CPC classification number: G02B1/118 G02B1/11

    Abstract: 本发明提供一种光学元件、使用该光学元件的光学系统及光学装置,该光学元件具有在基板上形成的防反射膜。这里,防反射膜包括:第一层,形成在基板上;第二层,形成在第一层上并由与第一层不同的材料构成;以及第三层,形成在第二层上并由凹凸结构构成。另外,第三层具有三个区域,通过连续改变凹凸结构的空间填充系数,所述三个区域的针对各自厚度的折射率以恒定比率改变。

    光学元件、使用该光学元件的光学系统及光学装置

    公开(公告)号:CN102901996A

    公开(公告)日:2013-01-30

    申请号:CN201210255977.9

    申请日:2012-07-23

    CPC classification number: G02B1/118 G02B1/11

    Abstract: 本发明提供一种光学元件、使用该光学元件的光学系统及光学装置,该光学元件具有在基板上形成的防反射膜。这里,防反射膜包括:第一层,形成在基板上;第二层,形成在第一层上并由与第一层不同的材料构成;以及第三层,形成在第二层上并由凹凸结构构成。另外,第三层具有三个区域,通过连续改变凹凸结构的空间填充系数,所述三个区域的针对各自厚度的折射率以恒定比率改变。

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