透镜设备和成像设备
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118502066A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202410178098.3

    申请日:2024-02-09

    Inventor: 松本彻

    Abstract: 一种透镜设备,包括:保持框架,其被配置成保持第一透镜;驱动单元,其被配置成在沿光轴的方向上驱动保持框架;和安装件,其被配置成将透镜设备安装在成像设备上。当从沿着光轴的方向观察透镜设备时,驱动单元的至少一部分被设置在具有非圆形形状的第一透镜的外接圆的内部。第一透镜的一部分在沿着光轴的方向上设置在与安装件的物体侧端面重叠的位置处或者被设置成比安装件的物体侧端面更靠近像平面。

    吸盘、基板保持设备、图案形成设备和制造物品的方法

    公开(公告)号:CN109314077B

    公开(公告)日:2023-06-02

    申请号:CN201780033601.4

    申请日:2017-05-29

    Inventor: 松本彻

    Abstract: 根据本发明的实施例的吸盘包括第一和第二支撑部分10,每个支撑部分在基部上具有凸形部分11和凹形部分13的重复结构。通过使每个凸形部分11与基板接触并且排出每个凹形部分13中的气体以使得凹形部分13相对于第一支撑部分10和第二支撑部分10之间的空间具有负压来保持基板。第一支撑部分10和第二支撑部分10中的至少一个支撑部分包括至少四个凸形部分11和三个凹形部分13。

    塑料添加剂
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1094954C

    公开(公告)日:2002-11-27

    申请号:CN93121759.8

    申请日:1993-12-24

    Inventor: 内田充 松本彻

    Abstract: 本发明提供了一种包含热塑性聚合物的塑料添加剂,其中热塑性聚合物的玻璃化转变温度是从40℃-80℃,并且塑料添加剂具有分散在其中的塑性颗粒。此外提供了一种包括含有热塑性聚合物的添加剂和塑料的塑料组合物,其中热塑性聚合物的玻璃化转变温度是从40℃-80℃,塑料组合物具有分散在其中的磁性颗粒。另外还提供了一种由包括含有热塑性聚合物的添加剂和塑料的塑料组合物形成的成型品。其中热塑性聚合物的玻璃化转变温度是从40℃-80℃,该成型品具有分散在其中的磁性颗粒。

    吸盘、基板保持设备、图案形成设备和制造物品的方法

    公开(公告)号:CN109314077A

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201780033601.4

    申请日:2017-05-29

    Inventor: 松本彻

    Abstract: 根据本发明的实施例的吸盘包括第一和第二支撑部分10,每个支撑部分在基部上具有凸形部分11和凹形部分13的重复结构。通过使每个凸形部分11与基板接触并且排出每个凹形部分13中的气体以使得凹形部分13相对于第一支撑部分10和第二支撑部分10之间的空间具有负压来保持基板。第一支撑部分10和第二支撑部分10中的至少一个支撑部分包括至少四个凸形部分11和三个凹形部分13。

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