公开(公告)号：CN114475000B

公开(公告)日：2023-08-01

申请号：CN202111341445.2

申请日：2021-11-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 广原真依 ,  高桥健治

IPC: B41J2/14

Abstract: 本发明涉及液体喷出头用基板和液体喷出头。一种液体喷出头用基板，其包括：基材、包括用于产生将液体排出的热能的发热电阻器层的发热元件、用于向发热元件供给电力的配线层、和用于使发热电阻器层与配线层绝缘的层间绝缘膜。用于使发热电阻器层和与发热电阻器层相邻的第一配线层绝缘的第一层间绝缘膜和用于使第一配线层和与第二层间绝缘膜相邻的第二配线层绝缘的第二层间绝缘膜的一部分包括由SiwOxCyNz(w+x+y+z＝100(原子％)，37≤w≤60(原子％)，30≤x≤53(原子％)，6≤y≤29(原子％)，4≤z≤9(原子％))表示的材料层。

公开(公告)号：CN114475000A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202111341445.2

申请日：2021-11-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 广原真依 ,  高桥健治

IPC: B41J2/14

Abstract: 本发明涉及液体喷出头用基板和液体喷出头。一种液体喷出头用基板，其包括：基材、包括用于产生将液体排出的热能的发热电阻器层的发热元件、用于向发热元件供给电力的配线层、和用于使发热电阻器层与配线层绝缘的层间绝缘膜。用于使发热电阻器层和与发热电阻器层相邻的第一配线层绝缘的第一层间绝缘膜和用于使第一配线层和与第二层间绝缘膜相邻的第二配线层绝缘的第二层间绝缘膜的一部分包括由SiwOxCyNz(w+x+y+z＝100(原子％)，37≤w≤60(原子％)，30≤x≤53(原子％)，6≤y≤29(原子％)，4≤z≤9(原子％))表示的材料层。

公开(公告)号：CN114474999B

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202111331190.1

申请日：2021-11-11

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 南圣子 ,  高桥健治 ,  广原真依

IPC: B41J2/14

Abstract: 本发明涉及液体喷出头用基板和液体喷出头。通过抑制由于阳极氧化导致的中间层的溶解来改善液体喷出头用基板和液体喷出头的长期可靠性。液体喷出头用基板包括：具有喷出口和流路的流路形成构件；用于喷出液体的发热电阻元件；覆盖发热电阻元件的绝缘层；表面暴露于流路的保护层；和设置在流路形成构件与保护层之间的中间层，其中该中间层包含由以下组成式(I)表示的材料：Siw1Ox1Cy1(I)，39≤w1≤62(原子％)，32≤x1≤55(原子％)，6≤y1≤29(原子％)，并且w1+x1+y1＝100(原子％)。

公开(公告)号：CN114474999A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202111331190.1

申请日：2021-11-11

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 南圣子 ,  高桥健治 ,  广原真依

IPC: B41J2/14

Abstract: 本发明涉及液体喷出头用基板和液体喷出头。通过抑制由于阳极氧化导致的中间层的溶解来改善液体喷出头用基板和液体喷出头的长期可靠性。液体喷出头用基板包括：具有喷出口和流路的流路形成构件；用于喷出液体的发热电阻元件；覆盖发热电阻元件的绝缘层；表面暴露于流路的保护层；和设置在流路形成构件与保护层之间的中间层，其中该中间层包含由以下组成式(I)表示的材料：Siw1Ox1Cy1(I)，39≤w1≤62(原子％)，32≤x1≤55(原子％)，6≤y1≤29(原子％)，并且w1+x1+y1＝100(原子％)。