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公开(公告)号：CN101144184A
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200710140895.9
申请日：2007-08-10
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 石崎明美 , 木村勲 , 大塚满
IPC: C30B29/02 , H01L21/283 , C23C30/00
Abstract: 根据本发明的金属膜具有立方晶体结构，后者具有周期性的面内晶体取向图案。所述晶体取向围绕着特定的晶轴方向逐渐地旋转，以致{100}面、{110}面和{111}面得以出现。
