公开(公告)号：CN1081834C

公开(公告)日：2002-03-27

申请号：CN96109410.9

申请日：1996-08-09

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 丝山诚纪 ,  深江公俊 ,  井上裕二

IPC: H01L31/18 ,  B32B31/20

CPC classification number: B32B37/1018

Abstract: 一种真空层压设备包括一个由一基底件、一具有除气孔的筒管和一挠性盖件构成的层压空间。

公开(公告)号：CN1096716C

公开(公告)日：2002-12-18

申请号：CN97117638.8

申请日：1997-08-13

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 吉野豪人 ,  深江公俊 ,  井上裕二 ,  丝山诚纪

IPC: H01L31/18 ,  H01L21/50 ,  B32B31/14

CPC classification number: H01L31/1876 ,  H01L31/048 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 连续真空层压处理系统，至少包括堆积必要组成件形成接受真空层压处理的堆积体的叠层工区、对堆积体抽真空的抽真空工区与对堆积体的热处理工区，各工区毗邻排成圈；于叠层工区中形成堆积体是在一批能有选择装或卸和有选择进到各工区的真空层压装置上进行，而且是在此种装置上对堆积体连续作真空层压处理同时使各装置依给定秩序相继通过上述各工区。还给出了适用作此系统中真空层压装置的真空层压设备。

公开(公告)号：CN1176496A

公开(公告)日：1998-03-18

申请号：CN97117638.8

申请日：1997-08-13

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 吉野豪人 ,  深江公俊 ,  井上裕二 ,  丝山诚纪

IPC: H01L31/18 ,  H01L21/50

CPC classification number: H01L31/1876 ,  H01L31/048 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 连续真空层压处理系统,至少包括堆积必要组成件形成接受真空层压处理的堆积体的叠层工区、对堆积体抽真空的抽真空工区与对堆积体的热处理工区,各工区比邻排成圈;于叠层工区中形成堆积体是在一批能有选择装或卸和有选择进到各工区的真空层压装置上进行,而且是在此种装置上对堆积体连续作真空层压处理同时使各装置依给定秩序相继通过上述各工区。还给出了适用作此系统中真空层压装置的真空层压设备。

公开(公告)号：CN1434520A

公开(公告)日：2003-08-06

申请号：CN02119956.6

申请日：1997-08-13

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 吉野豪人 ,  深江公俊 ,  井上裕二 ,  丝山诚纪

IPC: H01L31/18

CPC classification number: H01L31/1876 ,  H01L31/048 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 一种真空层压设备，它适用于对堆积体进行真空层压，此真空层压设备包括：具有前表面的安装台，上面设有所述堆积体；由环形空心管组成的抽真空管，沿其内周相间隔开地开有一批通风孔，此抽真空管布设并固定于安装台的前表面上，特征在于：上述安装台包括一钢板，此钢板具有中心线平均高度为0.2至1.5μm的前表面，所述抽真空管由设在钢板前表面与抽真空管之间接触区上的间断式焊接部固定到此钢板的前表面上，同时将密封剂布设到这一整个的接触区上，由此使抽真空管与钢板成为整体。本发明实现了一种大尺寸的真空层压设备。安装台与抽真空管是大尺寸的，不存在常规真空层压设备中当安装台与抽真空管大尺寸化时带来的问题。

公开(公告)号：CN1143835A

公开(公告)日：1997-02-26

申请号：CN96109410.9

申请日：1996-08-09

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 丝山诚纪 ,  深江公俊 ,  井上裕二

IPC: H01L31/18

CPC classification number: B32B37/1018

Abstract: 一种真空层压设备包括一个由一基底件、一具有除气孔的筒管和一挠性盖件构成的层压空间。