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公开(公告)号:CN1206200A
公开(公告)日:1999-01-27
申请号:CN98109293.4
申请日:1998-04-04
申请人: 住友重机械工业株式会社
发明人: 丰田英二郎
IPC分类号: G21K5/00
摘要: X射线沿真空导管的轴向传送到真空导管。多个第一隔板设置在真空导管中。每个第一隔板在其中心区形成有第一通孔。第一隔板划分在轴方向上的真空导管的内部空间和限定多个分隔空间。多个第二隔板被提供成每个相应于每个第一隔板。第二隔板设置在相对于第一隔板之一的某个间隙,每个第二隔板在其中心区形成有第二通孔。通过真空导管传送的X射线穿过第二通孔。支撑构件把第二隔板连接在一起和固定第二隔板的相对位置。支撑构件驱动单元把支撑构件支撑在真空导管的内部空间和驱动支撑构件,以根据传送真空导管的内部空间的X射线的通量的中心轴的摆动移动第二隔板。膜片密封真空导管的输出端和传送X射线。
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公开(公告)号:CN1169412C
公开(公告)日:2004-09-29
申请号:CN98109776.6
申请日:1998-05-06
申请人: 住友重机械工业株式会社
发明人: 丰田英二郎
CPC分类号: G03F7/70075 , G03F7/70191 , G03F7/70841
摘要: 在一种同步加速器辐射光传输系统中,一个反射镜设置在镜盒中以反射同步加速器辐射光,镜盒装有导入口和导出口,其中导入口和导出口通过水平扩展横截面的同步加速器辐射光。一个摆动机构支撑反射镜以使得经过导入口进入镜盒中的同步加速器辐射光被反射镜反射并在垂直平面上改变传输方向以及用于摆动反射镜以改变传输方向的变化角。摆动轴在一个交叉线上,或在同步加速器辐射光的入射面和反射镜在反射点处的切面之间延伸,并且也在来自反射点的同步加速器辐射光的入射侧。当反射镜摆动时,摆动机构摆动反射镜以使得同步加速器辐射光的反射点在反射镜的反射面上移动,以及当同步加速器辐射光的光源和反射点之间的距离变大时,入射角变大。
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公开(公告)号:CN1147210C
公开(公告)日:2004-04-21
申请号:CN98109293.4
申请日:1998-04-04
申请人: 住友重机械工业株式会社
发明人: 丰田英二郎
IPC分类号: H05H7/14
摘要: x射线沿轴向传到真空导管。多个第一隔板设在导管中。各隔板中心有第一通孔。该隔板轴向划分导管内部成多个分隔空间。多个第二隔板对应各第一隔板。第二隔板设在相对第一隔板之一的某间隙处,各第二隔板中心有第二通孔。x线穿过第二通孔。支撑件将第二隔板连在一起并固定其相对位置。驱动单元将支撑件支撑在导管内部并驱动该构件,以按内部x射线通量中心轴的摆动移动第二隔板。膜片密封导管输出端和传送x射线。
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公开(公告)号:CN1204862A
公开(公告)日:1999-01-13
申请号:CN98109776.6
申请日:1998-05-06
申请人: 住友重机械工业株式会社
发明人: 丰田英二郎
IPC分类号: H01L21/30
CPC分类号: G03F7/70075 , G03F7/70191 , G03F7/70841
摘要: 在一种同步加速器辐射光传输系统中,一个反射镜设置在镜盒中以反射同步加速器辐射光,镜盒装有导入口和导出口,其中导入口和导出口通过水平扩展横截面的同步加速器辐射光。一个摆动机构支撑反射镜以使得经过导入口进入镜盒中的同步加速器辐射光被反射镜反射并在垂直平面上改变传输方向以及用于摆动反射镜以改变传输方向的变化角。摆动轴在一个交叉线上,或在同步加速器辐射光的入射面和反射镜在反射点处的切面之间延伸,并且也在来自反射点的同步加速器辐射光的入射侧。当反射镜摆动时,摆动机构摆动反射镜以使得同步加速器辐射光的反射点在反射镜的反射面上移动,以及当同步加速器辐射光的光源和反射点之间的距离变大时,入射角变大。
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