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公开(公告)号：CN113943102A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202110716987.7
申请日：2021-06-28
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: C03B37/014 , C03B37/018
Abstract: 本发明提供能够从制造光纤用母材时的排出气体有效地回收锗的光纤用母材的制造装置及制造方法。本发明是对在反应容器内进行旋转的靶材喷出玻璃微粒而使其沉积的光纤用母材的制造装置。反应容器具有将包含未沉积的玻璃微粒的排放气体排出的第一排气口及第二排气口。第一排气口配置在第一燃烧器喷射第一玻璃原料的方向，第二排气口与第一排气口相比配置于远离第一燃烧器的位置。该制造装置具有从由第一排气口排出的包含玻璃微粒的排放气体对玻璃微粒进行回收的玻璃微粒回收部。
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