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公开(公告)号：CN118812154A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410406007.7
申请日：2024-04-07
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: C03B37/014
Abstract: 提供抑制燃烧器的罩的劣化并抑制助燃性气体的使用量的玻璃母材的制造方法。其中一边使燃烧器相对于靶材相对地往返移动，一边将玻璃微粒喷射于靶材并使其沉积，燃烧器具有主体部和罩。主体部具有原料气体口、喷射燃料气体的燃料气体口、第一助燃性气体口、以及设置在燃料气体口的外周、喷射助燃性气体的第二助燃性气体口。玻璃母材的制造方法包括：第一沉积工序，其中在开始沉积玻璃微粒时使来自燃料气体口的燃料气体的流量增加、且使来自第二助燃性气体口的助燃性气体的流量恒定，而沉积玻璃微粒；和第二沉积工序，其中在第一沉积工序后使来自燃料气体口的燃料气体的流量增加、且使来自第二助燃性气体口的助燃性气体的流量增加，而沉积玻璃微粒。
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