公开(公告)号：CN103003752A

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201180027412.9

申请日：2011-06-02

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： 田中裕马 ,  堀井诚

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/023

CPC classification number: G03F7/004 ,  C08F2/00 ,  C08F2/20 ,  C08G73/02 ,  C08G73/1032 ,  C08G73/1067 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/0233

Abstract: 一种至少含有（A）碱可溶性树脂、（B）光氧发生剂、（C）表面活性剂和（D）有机溶剂的感光性树脂组合物的制造方法，包括：得到含有（C）表面活性剂和（D）有机溶剂、且不含有（A）碱可溶性树脂和（B）光氧发生剂的分散液的工序，和在该分散液中添加（A）碱可溶性树脂和（B）光氧发生剂的工序。

公开(公告)号：CN102985880A

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201180034094.9

申请日：2011-07-05

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： 堀井诚 ,  田中裕马

IPC: G03F7/30 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/20 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/40 ,  G03F7/405

Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物的固化膜形成方法，其是在支撑体上形成正型感光性树脂组合物的固化膜的方法，包括：在上述支撑体上涂敷上述正型感光性树脂组合物的涂敷工序；对上述正型感光性树脂组合物有选择地照射化学射线进行曝光的曝光工序；用碱性显影液对上述正型感光性树脂组合物的曝光部进行显影的显影工序；用清洗液清洗上述显影液，并且将上述正型感光性树脂组合物的曝光部除去的清洗工序；和对上述正型感光性树脂组合物进行加热，形成固化膜的固化工序，上述清洗工序包括：在使上述支撑体以圆周速度0.53m/s以下旋转的同时供给上述清洗液的第一清洗工序；和在使上述支撑体以比上述第一清洗工序快的圆周速度旋转的同时供给上述清洗液的第二清洗工序。