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公开(公告)号:CN104245231A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201380016325.2
申请日:2013-03-21
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: B24B37/28 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/27 , B24B37/28 , B24B41/06 , Y10T442/2992 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种改善被研磨物保持件的弯曲度、板厚精度,并且抑制被研磨物的擦伤的产生,从而抗磨损性良好,更有利于经济效率的被研磨物保持件。本发明的被研磨物保持件是在最外层具有第一树脂层的被研磨物保持件,该第一树脂层通过在第一纤维基材浸渍第一树脂组成物并对其加热加压而构成,上述第一纤维基材为玻璃纤维基材,在除了上述第一纤维基材之外的上述第一树脂层中,以50质量%以上的比例包含来自于具有酚醛清漆骨架的树脂的构造。