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公开(公告)号：CN112513625A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN201980048718.9
申请日：2019-07-23
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G01N27/12 , G01N27/414 , G01N33/00
Abstract: 一种用于检测或测量目标气体的浓度的顶栅薄膜晶体管气体传感器。所述气体传感器被配置为使得目标气体可以通过顶栅并且与气体传感器的半导电层相互作用。顶栅可以不覆盖设置在顶栅下面的半导电层的沟道，以使得目标气体可以与沟道相通，而不被顶栅阻碍。顶栅可以用通道来图案化，目标气体可以通过这些通道通过顶栅到达半导电层中的沟道。顶栅可以可渗透目标气体，从而使得可以将目标气体传递到沟道。其上形成半导电层的基板可以可渗透目标气体，从而使得目标气体可以与沟道相通。
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