公开(公告)号：CN108141938A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680057159.4

申请日：2016-09-06

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 野田基央 ,  盐见秀数 ,  铃木昭英

IPC: H05B33/10 ,  B05D1/26 ,  G02B5/20 ,  H01L51/50

Abstract: 一实施方式的薄膜制造方法包括：涂布膜形成工序，一边使支承体相对于N根行式头通过一次，一边从第一行式头～第M行式头(M为2以上且N以下)将涂布液喷出在支承体上而形成涂布膜；以及干燥工序，在该干燥工序中，使涂布膜干燥而得到薄膜，第m行式头(m为2以上且M以下)的薄膜形成用喷孔(28)配置为位于第(m-1)薄膜形成用喷孔列(Qm-1)中的相邻的薄膜形成用喷孔之间，每当第一行式头喷出涂布液时，第m行式头在相对于第一行式头的喷出时机的规定的延迟时机向支承体涂布涂布液，第一行式头～第M行式头从根据薄膜形成区域的形状而选择出的薄膜形成用喷孔向支承体喷出涂布液。

公开(公告)号：CN108141938B

公开(公告)日：2020-02-14

申请号：CN201680057159.4

申请日：2016-09-06

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 野田基央 ,  盐见秀数 ,  铃木昭英

IPC: H05B33/10 ,  B05D1/26 ,  G02B5/20 ,  H01L51/50

Abstract: 一实施方式的薄膜制造方法包括：涂布膜形成工序，一边使支承体相对于N根行式头通过一次，一边从第一行式头～第M行式头(M为2以上且N以下)将涂布液喷出在支承体上而形成涂布膜；以及干燥工序，在该干燥工序中，使涂布膜干燥而得到薄膜，第m行式头(m为2以上且M以下)的薄膜形成用喷孔(28)配置为位于第(m‑1)薄膜形成用喷孔列(Qm‑1)中的相邻的薄膜形成用喷孔之间，每当第一行式头喷出涂布液时，第m行式头在相对于第一行式头的喷出时机的规定的延迟时机向支承体涂布涂布液，第一行式头～第M行式头从根据薄膜形成区域的形状而选择出的薄膜形成用喷孔向支承体喷出涂布液。