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公开(公告)号：CN104280405A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201410318251.4
申请日：2014-07-04
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor： 小林信次 , 波冈诚 , 森定郁夫 , 及川伸
IPC: G01N21/95
Abstract: 一种薄膜的缺陷检查方法，在薄膜的第一主面侧配置具有700000cd/m2以上的亮度的高亮度光源，在薄膜的第二主面侧从偏离了高亮度光源的光轴的位置，通过目视观察被高亮度光源照明的薄膜的图像。
