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公开(公告)号:CN108845481A
公开(公告)日:2018-11-20
申请号:CN201810595790.0
申请日:2012-04-12
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 一种着色感光性树脂组合物,其包含着色剂、树脂、光聚合性化合物及光聚合引发剂,着色剂为含有呫吨染料的着色剂,树脂为具有来自从不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中选择的至少1种的结构单元、和来自N-环己基马来酰亚胺的结构单元的共聚物,根据该着色感光性树脂组合物,由于能够抑制着色感光性树脂组合物层的未曝光部的一部分在显影时剥离,所以形成的图案上异物少。
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公开(公告)号:CN102998902A
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN201210347053.1
申请日:2012-09-07
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/033 , G02F1/1335
Abstract: 提供一种着色感光性树脂组合物,其含有着色剂、树脂、聚合性化合物及聚合引发剂,着色剂是含有呫吨染料和颜料的着色剂,树脂是含有以下单元的共聚物:来源于选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐构成的群中的至少1种的结构单元、来源于具有碳原子数2~4的环状醚结构及乙烯性不饱和键的单体的结构单元、来源于式(x)所示的单体的结构单元。[式(x)中,Ra1表示氢原子或甲基。Ra2表示碳原子数1~6的烷基。p表示0~5的整数。当p为2以上时,多个Ra2可以相同或不同。
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公开(公告)号:CN102819188B
公开(公告)日:2017-06-23
申请号:CN201210186568.8
申请日:2012-06-07
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor: 桐生泰行
Abstract: 本发明提供一种着色感光性树脂组合物,其含有(A)染料;(B1)具有来源于选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中的至少1种的结构单元、和来源于具有碳数2~4的环状醚结构和烯属不饱和键的单体的结构单元的共聚物(侧链没有碳‑碳不饱和双键);(B2)侧链具有碳‑碳不饱和双键、重均分子量为10,000以上且100,000以下的树脂;(C)重均分子量为3,000以下的聚合性化合物;以及(D)聚合引发剂。通过本发明,可以抑制由着色感光性树脂组合物形成的组合物层的未曝光部的一部分在显影时发生剥离、减少图案上异物。
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公开(公告)号:CN103034055A
公开(公告)日:2013-04-10
申请号:CN201210391754.5
申请日:2012-09-28
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor: 桐生泰行
IPC: G03F7/004 , G02B5/20 , G02F1/1335
Abstract: 提供一种含有着色剂、树脂、聚合性化合物及聚合引发剂的着色感光性树脂组合物,着色剂为含有染料的着色剂,树脂是含有共聚物的树脂,该共聚物含有以下结构单元:来源于选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐构成的群中的至少1种的结构单元、来源于具有碳原子数2~4的环状醚结构及乙烯性不饱和键的单体的结构单元、来源于式(x)所示单体的结构单元,来源于式(x)所示单体的结构单元的含量相对于构成该共聚物的结构单元总量,在0.1摩尔%以上20摩尔%以下。[式(x)中,Ra1表示氢原子或碳原子数1~4的烷基。Xa1表示单键、-Xa2-、*-Xa2-O-、*-Xa2-S-或*-Xa2-NH-。Xa2表示碳原子数1~6的亚烷基。*表示与O的键合位置]。
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公开(公告)号:CN115145115A
公开(公告)日:2022-10-04
申请号:CN202210298455.0
申请日:2022-03-24
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明涉及固化性树脂组合物及其固化物。本发明可以提供能形成良好的形状的图案的固化性树脂组合物。本发明的解决手段为一种固化性树脂组合物,其为包含树脂(A)、聚合性化合物(B)、及聚合引发剂(C)的固化性树脂组合物,聚合引发剂(C)在360~390nm的范围内具有极大吸收波长,聚合性化合物(B)的含量相对于固化性树脂组合物中包含的固态成分的总量而言为12质量%以上27质量%以下,并且,聚合引发剂(C)的含量相对于聚合性化合物(B)的含量的质量比(C/B)为26%以下。
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公开(公告)号:CN103105733B
公开(公告)日:2017-11-24
申请号:CN201210442259.2
申请日:2012-11-07
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明提供一种着色感光性树脂组合物,其含有着色剂、树脂、聚合性化合物以及聚合引发剂,着色剂含有染料,树脂含有具有以下结构单元的共聚物:来源于从由不饱和羧酸以及不饱和羧酸酐所组成的群中选择的至少1种的结构单元,来源于具有碳原子数2~4的环状醚结构以及乙烯性不饱和键的单体的结构单元,和来源于式(x)表示的单体的结构单元,来源于式(x)表示的单体的结构单元的含量相对于构成该共聚物的结构单元的总量,在1摩尔%以上,80摩尔%以下。式(x)中,Ra1表示氢原子或者碳原子数1~4的烷基;Ra2表示碳原子数3~18的脂环式烃基或者碳原子数6~18的芳香族烃基;Xa1表示单键等。
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公开(公告)号:CN102736416A
公开(公告)日:2012-10-17
申请号:CN201210107110.9
申请日:2012-04-12
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 一种着色感光性树脂组合物,其包含着色剂、树脂、光聚合性化合物及光聚合引发剂,着色剂为含有呫吨染料的着色剂,树脂为具有来自从不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中选择的至少1种的结构单元、和来自N-环己基马来酰亚胺的结构单元的共聚物,根据该着色感光性树脂组合物,由于能够抑制着色感光性树脂组合物层的未曝光部的一部分在显影时剥离,所以形成的图案上异物少。
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公开(公告)号:CN103105733A
公开(公告)日:2013-05-15
申请号:CN201210442259.2
申请日:2012-11-07
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明提供一种着色感光性树脂组合物,其含有着色剂、树脂、聚合性化合物以及聚合引发剂,着色剂含有染料,树脂含有具有以下结构单元的共聚物:来源于从由不饱和羧酸以及不饱和羧酸酐所组成的群中选择的至少1种的结构单元,来源于具有碳原子数2~4的环状醚结构以及乙烯性不饱和键的单体的结构单元,和来源于式(x)表示的单体的结构单元,来源于式(x)表示的单体的结构单元的含量相对于构成该共聚物的结构单元的总量,在1摩尔%以上,80摩尔%以下。式(x)中,Ra1表示氢原子或者碳原子数1~4的烷基;Ra2表示碳原子数3~18的脂环式烃基或者碳原子数6~18的芳香族烃基;Xa1表示单键等。
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公开(公告)号:CN102819188A
公开(公告)日:2012-12-12
申请号:CN201210186568.8
申请日:2012-06-07
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor: 桐生泰行
Abstract: 本发明提供一种着色感光性树脂组合物,其含有(A)染料;(B1)具有来源于选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中的至少1种的结构单元、和来源于具有碳数2~4的环状醚结构和烯属不饱和键的单体的结构单元的共聚物(侧链没有碳-碳不饱和双键);(B2)侧链具有碳-碳不饱和双键、重均分子量为10,000以上且100,000以下的树脂;(C)重均分子量为3,000以下的聚合性化合物;以及(D)聚合引发剂。通过本发明,可以抑制由着色感光性树脂组合物形成的组合物层的未曝光部的一部分在显影时发生剥离、减少图案上异物。
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