负型抗蚀剂组合物
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115335770A

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202180025483.9

    申请日:2021-03-11

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种用于制造波长440nm的光的透射率高的滤色器的负型抗蚀剂组合物。本发明的负型抗蚀剂组合物包含着色剂和树脂,上述着色剂含有呫吨染料,由上述负型抗蚀剂组合物形成的固化膜的分光光谱满足下述条件1。[条件1]在波长范围500nm~580nm具有极大吸收波长,将该波长处的透射率设为5%时,波长440nm处的透射率为80%以上,且波长620nm处的透射率为80%以上。

Patent Agency Ranking