颗粒状物质的测定装置用部件及其制造方法

    公开(公告)号:CN108291885A

    公开(公告)日:2018-07-17

    申请号:CN201680069071.4

    申请日:2016-11-22

    Abstract: 颗粒状物质的测定装置用部件具备:由陶瓷构成且在内部具有供气体流动的流路的基部;以将所述流路分割成多个的方式设置在所述流路的内部且由多孔质陶瓷构成的过滤部;以及以夹着所述过滤部的方式设置于所述基部的静电电容形成用的一对电极,所述基部的所述流路的壁面比所述过滤部的表面致密。

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