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公开(公告)号:CN112703389A
公开(公告)日:2021-04-23
申请号:CN201980060628.1
申请日:2019-09-05
Applicant: 京瓷株式会社
Inventor: 丰仓祥太
IPC: G01N21/17
Abstract: 在本观察方法中,从光学相干断层成像仪获取测量对象在与深度方向相交的平面中的多个不同位置处的测量值(S100)。在本观察方法中,对多个位置中的每个位置处的同一深度位置的测量值求平均(S104)。在本观察方法中,在深度方向上对多个深度位置中的每个深度位置处的平均值计算积分值(S105)。在本观察方法中,基于积分值来计算测量对象的收缩参数(S106)。
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公开(公告)号:CN112703389B
公开(公告)日:2025-03-25
申请号:CN201980060628.1
申请日:2019-09-05
Applicant: 京瓷株式会社
Inventor: 丰仓祥太
IPC: G01N21/17
Abstract: 在本观察方法中,从光学相干断层成像仪获取测量对象在与深度方向相交的平面中的多个不同位置处的测量值(S100)。在本观察方法中,对多个位置中的每个位置处的同一深度位置的测量值求平均(S104)。在本观察方法中,在深度方向上对多个深度位置中的每个深度位置处的平均值计算积分值(S105)。在本观察方法中,基于积分值来计算测量对象的收缩参数(S106)。
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