公开(公告)号：CN114812111B

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202210431469.5

申请日：2022-04-22

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  成都京东方显示科技有限公司

发明人： 黄超越 ,  刘闽 ,  张然 ,  李良 ,  薛超

IPC分类号： F26B9/00 ,  F26B21/00 ,  F26B25/02 ,  F26B21/06 ,  F26B25/22 ,  F26B3/04

摘要： 本公开涉及一种基板干燥装置、清洗系统及干燥方法，该基板干燥装置包括：基座，所述基座上设有基板的安装位；干燥部件，悬置于所述安装位的上方，所述干燥部件朝向所述安装位的一侧设有多个喷淋头，用于喷出高温气体，对所述基板上的水残进行干燥；滑动组件，包括固定于所述基座的导轨和与所述导轨滑动连接的滑块，所述滑块与所述干燥部件固定连接，用于带动所述干燥部件沿所述导轨移动；驱动机构，与所述滑块连接，用于驱动所述滑块移动。本公开能够提高包含该基板干燥装置的清洗设备的性能，保证基板产品的良率，并提高位于基板干燥装置的下游的检测设备的稼动率和产品直通率。

公开(公告)号：CN114812111A

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN202210431469.5

申请日：2022-04-22

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  成都中电熊猫显示科技有限公司

发明人： 黄超越 ,  刘闽 ,  张然 ,  李良 ,  薛超

IPC分类号： F26B9/00 ,  F26B21/00 ,  F26B25/02 ,  F26B21/06 ,  F26B25/22 ,  F26B3/04

摘要： 本公开涉及一种基板干燥装置、清洗系统及干燥方法，该基板干燥装置包括：基座，所述基座上设有基板的安装位；干燥部件，悬置于所述安装位的上方，所述干燥部件朝向所述安装位的一侧设有多个喷淋头，用于喷出高温气体，对所述基板上的水残进行干燥；滑动组件，包括固定于所述基座的导轨和与所述导轨滑动连接的滑块，所述滑块与所述干燥部件固定连接，用于带动所述干燥部件沿所述导轨移动；驱动机构，与所述滑块连接，用于驱动所述滑块移动。本公开能够提高包含该基板干燥装置的清洗设备的性能，保证基板产品的良率，并提高位于基板干燥装置的下游的检测设备的稼动率和产品直通率。