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发明公开
用于快速加工高硬度、高脆性基板的研磨板及研磨装置无效

公开(公告)号：CN107336145A

公开(公告)日：2017-11-10

申请号：CN201710257834.4

申请日：2017-04-19

Applicant: 二和金刚石工业株式会社

Inventor： 朴熹东 , 尹重喆 , 赵宰汉 , 郑在龙

IPC: B24D3/00 , B24D3/22 , B24D3/28

Abstract: 本发明公开用于快速加工高硬度、高脆性基板的研磨板及利用其的基板研磨装置。本发明的研磨板的特征在于，研磨板具有金属粒子分散于高分子的形态，且上述金属粒子属于碳含量为0.12重量百分比以下的碳钢材质。此时，优选地，上述金属粒子属于碳含量为0.01重量百分比以下、硬度为400MPa以下的低碳钢材质。并且，优选地，上述金属粒子具有100～200μm的大小。

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