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公开(公告)号：CN119013124A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202380029248.8
申请日：2023-03-21
Applicant: 二和金刚石工业株式会社
IPC: B24B53/017 , B24D3/10 , B24D18/00
Abstract: 一种CMP调节盘制造装置，其包括：钻石夹具，其提供可安置钻石的夹具袋，吸入单元，其向夹具袋选择性地提供吸力，移动单元，其用于将安置在夹具袋上的钻石固定在支撑面上，当钻石被安置在夹具袋中时，吸入单元可以向夹具袋提供吸力，并且当钻石被固定至支撑面时，可以消除吸力。
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