公开(公告)号：CN114326322B

公开(公告)日：2024-02-13

申请号：CN202111528094.6

申请日：2021-12-14

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 匡翠方 ,  魏震 ,  杨顺华 ,  蒋登斌 ,  丁晨良 ,  刘旭 ,  徐良 ,  朱大钊 ,  张凌民

IPC: G03F7/20 ,  G02B27/10 ,  G02B3/00

Abstract: 本发明公开了一种基于微透镜阵列和DMD的高通量超分辨激光直写系统。该系统使用一片包括m×m个镜元的微透镜阵列产生m×m束并行光束，结合紫外飞秒激光器、四光束分束器、DMD、合束器、平板光束位移元件、透镜、物镜搭建而成的光路在物镜焦平面上形成2m×2m个焦点点阵分布，将基于微透镜阵列和DMD的激光直写通量提高到原来的4倍，大幅提高直写速度，且每个焦点可由DMD独立调节光强，从而结合直写算法实现任意图形的并行超分辨激光直写。本发明可应用于微透镜阵列、衍射光学元件、光刻掩模板等的快速加工制造。

公开(公告)号：CN114326322A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202111528094.6

申请日：2021-12-14

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 匡翠方 ,  魏震 ,  杨顺华 ,  蒋登斌 ,  丁晨良 ,  刘旭 ,  徐良 ,  朱大钊 ,  张凌民

IPC: G03F7/20 ,  G02B27/10 ,  G02B3/00

Abstract: 本发明公开了一种基于微透镜阵列和DMD的高通量超分辨激光直写系统。该系统使用一片包括m×m个镜元的微透镜阵列产生m×m束并行光束，结合紫外飞秒激光器、四光束分束器、DMD、合束器、平板光束位移元件、透镜、物镜搭建而成的光路在物镜焦平面上形成2m×2m个焦点点阵分布，将基于微透镜阵列和DMD的激光直写通量提高到原来的4倍，大幅提高直写速度，且每个焦点可由DMD独立调节光强，从而结合直写算法实现任意图形的并行超分辨激光直写。本发明可应用于微透镜阵列、衍射光学元件、光刻掩模板等的快速加工制造。

公开(公告)号：CN1383034A

公开(公告)日：2002-12-04

申请号：CN02111842.6

申请日：2002-05-24

Applicant: 杭州浙大科特光电科技有限公司 ,  浙江大学

Inventor： 刘旭 ,  李海峰 ,  刘向东 ,  蒋登斌 ,  郑臻荣

IPC: G03B21/20 ,  G03B21/28 ,  G02B27/18

Abstract: 本发明公开了一种液晶背投影电视光学引擎。它采用短弧气体放电灯经反光碗,产生平行照明光束;经两块复眼透镜后由偏振转换合成器转换成单一偏振分量的光束;再由二色分色镜分色,反射出红光,经反射镜与透镜后照射于红路液晶屏;二色分色镜透射的光,由二色分色镜反射分色出绿光,经透镜照射绿路液晶屏;由二色分色镜分光后的蓝光经过透镜,反射镜,透镜,反射镜以及透镜之后照射于蓝路液晶屏;三束光经三个液晶片调制后,形成三色图像,在经过合色棱镜,将三色光束合成一束彩色图像,经投影物镜投影,由反射镜投影成像于背屏幕。本发明减少背投影机的厚度,提高显示屏幕上的色彩均匀性。实现高分辨高亮度真实色彩的大屏幕多媒体背投影显示器。

公开(公告)号：CN2553576Y

公开(公告)日：2003-05-28

申请号：CN02217691.8

申请日：2002-05-24

Applicant: 杭州浙大科特光电科技有限公司 ,  浙江大学

Inventor： 刘旭 ,  李海峰 ,  刘向东 ,  蒋登斌 ,  郑臻荣

IPC: H04N5/74 ,  G02B27/18

Abstract: 本实用新型公开了一种高清晰度背投电视的光学机芯。它采用短弧气体放电灯经反光碗，产生平行照明光束；经两块复眼透镜后由偏振转换合成器转换成单一偏振分量的光束；再由二色分色镜分色，反射出红光，经反射镜与透镜后照射于红路液晶屏；二色分色镜透射的光，由二色分色镜反射分色出绿光，经透镜照射绿路液晶屏；由二色分色镜分光后的蓝光经过透镜，反射镜，透镜，反射镜以及透镜之后照射于蓝路液晶屏；三束光经三个液晶片调制后，形成三色图像，在经过合色棱镜，将三色光束合成一束彩色图像，经投影物镜投影，由反射镜投影成像于背屏幕。本实用新型减少背投影机的厚度，提高显示屏幕上的色彩均匀性。实现高分辨高亮度真实色彩的大屏幕多媒体背投影显示器。