一种激光直写装置和激光直写方法

    公开(公告)号:CN119087755B

    公开(公告)日:2025-03-25

    申请号:CN202411571188.5

    申请日:2024-11-06

    Abstract: 本发明涉及一种激光直写装置和激光直写方法,在光路传播方向上依次包括第一光源、光学衍射元件、多通道声光调制器、第一套筒透镜、第一物镜和第一刻写平台;所述光学衍射元件用于将所述第一光源发出的光束分成至少两束第一子光束,每束所述第一子光束的直径相等或者基本相等,并且所述第一子光束的直径小于所述第一物镜的入瞳孔径,所述多通道声光调制器用于调节每束所述第一子光束的光强。

    一种激光直写装置和激光直写方法

    公开(公告)号:CN119087755A

    公开(公告)日:2024-12-06

    申请号:CN202411571188.5

    申请日:2024-11-06

    Abstract: 本发明涉及一种激光直写装置和激光直写方法,在光路传播方向上依次包括第一光源、光学衍射元件、多通道声光调制器、第一套筒透镜、第一物镜和第一刻写平台;所述光学衍射元件用于将所述第一光源发出的光束分成至少两束第一子光束,每束所述第一子光束的直径相等或者基本相等,并且所述第一子光束的直径小于所述第一物镜的入瞳孔径,所述多通道声光调制器用于调节每束所述第一子光束的光强。

    一种多模态点扫描超分辨显微成像系统

    公开(公告)号:CN118067678A

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202410261503.8

    申请日:2024-03-07

    Abstract: 本发明公开了一种多模态点扫描超分辨显微成像系统,所述系统主要包括扫描控制模块,采集控制模块,测量任务信息处理模块和界面显示模块。包括界面显示控制模块、测量任务信息处理模块、采集控制模块、空间光调制器控制模块和扫描控制模块;所述的多模态包括常规的激光扫描共聚焦模式、受激发射损耗显微镜模式、荧光辐射微分超分辨显微模式、荧光寿命成像模式以及各自模式下的多探测器像素重组图像显微方法,所述系统着眼于支持以上模式的点扫描超分辨成像系统,界面美观,显示合理多样,功能全面且强大,操作简单,顺应了科技飞速发展背景下的实用需求,非常适合在光学显微系统的构建及相关应用。

    一种基于转镜的光存储信息的高速读取方法及装置

    公开(公告)号:CN116312652A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310133694.5

    申请日:2023-02-07

    Abstract: 一种基于转镜的光存储信息的高速读取方法,包括:使转镜在固定转速下沿着X方向匀速转动;计算采集卡接收到转镜行脉冲后每次采集的延迟时间;控制大行程气浮位移台在Y方向执行一次匀速运动,并在经过采集区域的起始位置时,产生位置触发信号,使能采集卡采集光强信号;采集卡使能后,每接收到一个行脉冲,采集卡采集一行的光强信号,经处理后转换为图像中的一行数据;采集到该区域的图像数据后,经过一系列处理得到该采集区域的二值化数据信息;大行程气浮位移台移动到下一个采集区域,重复执行上述步骤,得到整个采集区域的二值化数据;Z轴位移台移动到采集区域的下一层,重复上述过程,直至采集完整个三维区域内的所有二值化数据,并根据存储时已知的算法进行解码,得到该整个三维区域内的原始存储数据。

    一种高速高精度对准的激光直写光刻方法与装置

    公开(公告)号:CN115327867A

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202211253404.2

    申请日:2022-10-13

    Abstract: 本发明公开了一种高速高精度对准的激光直写光刻方法与装置,使用位移台与转镜同步运动算法,首先基于激光器产生激光束,基于电光/声光调制器实现激光强度高速调制,基于任意波形发生器产生高速调制信号控制;然后启动位移台,按照预设路径移动,经过预设触发位置时产生触发信号;再基于数据采集卡采集触发信号,获得触发后打开转镜触发激光器,基于转镜位置激光器获得转镜扫描起始点信号,用于启动任意波形发生器输出高速调制信号;最后位移台匀速移动到下一个触发位置产生触发信号,直到位移台预设路径移动结束,完成刻写。本发明基于位移台与转镜同步运动算法,有效解决了现有激光直写光刻系统无法实现高速高精度对准的问题。

    利用二次扰动激光的飞秒泵浦–探测微区测量系统及方法

    公开(公告)号:CN116625965A

    公开(公告)日:2023-08-22

    申请号:CN202310615053.3

    申请日:2023-05-29

    Abstract: 利用二次扰动激光的飞秒泵浦–探测微区测量系统及方法,包括飞秒激光器、分束镜、声光调制器、全反镜、超连续谱产生套件、连续激光器、电控位移台、二向色镜、反射式物镜、凸透镜、单色仪、光电倍增管、锁相放大器、滤光片、光纤光谱仪和计算机等部件。在探测部分利用反射式物镜替换凸透镜汇聚激发光和收集信号光,提高飞秒泵浦–探测技术空间分辨精度。本发明是利用二次扰动激光的飞秒泵浦–探测系统,用于分析连续激光对样品激发态弛豫过程的影响,提供对复杂超快光物理行为的进一步理解,进而优化材料设计方案。

    一种高速高精度对准的激光直写光刻方法与装置

    公开(公告)号:CN115327867B

    公开(公告)日:2023-03-03

    申请号:CN202211253404.2

    申请日:2022-10-13

    Abstract: 本发明公开了一种高速高精度对准的激光直写光刻方法与装置,使用位移台与转镜同步运动算法,首先基于激光器产生激光束,基于电光/声光调制器实现激光强度高速调制,基于任意波形发生器产生高速调制信号控制;然后启动位移台,按照预设路径移动,经过预设触发位置时产生触发信号;再基于数据采集卡采集触发信号,获得触发后打开转镜触发激光器,基于转镜位置激光器获得转镜扫描起始点信号,用于启动任意波形发生器输出高速调制信号;最后位移台匀速移动到下一个触发位置产生触发信号,直到位移台预设路径移动结束,完成刻写。本发明基于位移台与转镜同步运动算法,有效解决了现有激光直写光刻系统无法实现高速高精度对准的问题。

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