公开(公告)号：CN118969610A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202411043197.7

申请日：2024-07-31

申请人： 丽水睿昇半导体科技有限公司

发明人： 姚力军 ,  王波 ,  鲍伟江 ,  昝小磊

IPC分类号： H01L21/304 ,  H01L21/48

摘要： 本发明属于半导体产品技术领域，公开了一种半导体产品的孔洞加工方法。半导体产品上设置有冷却通道以及与冷却通道连通的进水口和出水口，该半导体产品的孔洞加工方法用于加工半导体产品的孔洞。该半导体产品的孔洞加工方法包括以下步骤：封堵出水口，经由进水口向冷却通道注入冷却水，待冷却通道充满冷却水后，封堵进水口；冷冻半导体产品，直至冷却水由液态变为固态；在半导体产品上加工出孔洞，并清理加工孔洞产生的碎屑；加热半导体产品，以使冷却通道内的冷却水由固态融化为液态；打开出水口，经由出水口排出冷却通道内的冷却水。固态的冷却水能够填满冷却通道，避免碎屑进入冷却通道，提高了半导体产品的合格率。

公开(公告)号：CN118700053A

公开(公告)日：2024-09-27

申请号：CN202411032163.8

申请日：2024-07-30

申请人： 丽水睿昇半导体科技有限公司

发明人： 姚力军 ,  王波 ,  鲍伟江 ,  昝小磊

IPC分类号： B25B11/00

摘要： 本发明属于半导体装夹加工技术领域，公开了一种加工半导体夹具、装夹装置及其使用方法，加工半导体夹具包括夹具本体和定位销，定位销能够插装于产品底部，产品能够限位于夹具本体中，紧固件依次穿设夹具本体和产品后能够将产品锁定于夹具本体中。另一方面，加工半导体装夹装置包括加工半导体夹具、自定心虎钳和工作台，自定心虎钳可拆卸连接于工作台上，且自定心虎钳于工作台上位置可调，加工半导体夹具夹设于自定心虎钳中。本发明通过产品和加工半导体夹具之间的一次装夹，即可满足产品的加工需求，不仅有效提高了产品加工效率，而且大量减少了装夹次数，节省装夹时间，且可保证加工质量。