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公开(公告)号：CN119535882A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411090492.8
申请日：2024-08-09
Applicant: 丰元精密株式会社
Abstract: 本发明涉及一种薄膜光掩模以及薄膜光掩膜的制造方法。一种薄膜光掩模，作为在用于制造构成开口金属掩膜的掩膜条的曝光工程中使用的薄膜光掩膜，包括：第一薄膜，配备有沿着宽度方向排列的一个以上的第一透过部，所述第一薄膜的长度方向上的长度大于宽度方向上的长度；以及第二薄膜，配备有与所述第一透过部对应的第二透过部；通过在所述第一薄膜的长度方向的两端中的至少一个上对所述第二薄膜进行接合，从而可以将所述第一透过部与所述第二透过部连续连接并借此形成与所述掩膜条的形状对应的图案。
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