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公开(公告)号:CN118077332A
公开(公告)日:2024-05-24
申请号:CN202280067349.X
申请日:2022-08-17
Applicant: 丰元精密株式会社
Abstract: 精细金属掩模板的一实施例可包括:基片;掩模片,形成在基片,具有形成有多个单元的图案区域;以及切割区域,形成在基片与掩模片之间,切割区域包括:切割线,形成多个;以及桥部,配置在多个切割线中每个切割线的两端,形成多个并相互隔开,用于连接基片与掩模片。
公开(公告)号:CN118077332A
公开(公告)日:2024-05-24
申请号:CN202280067349.X
申请日:2022-08-17
Applicant: 丰元精密株式会社
Abstract: 精细金属掩模板的一实施例可包括:基片;掩模片,形成在基片,具有形成有多个单元的图案区域;以及切割区域,形成在基片与掩模片之间,切割区域包括:切割线,形成多个;以及桥部,配置在多个切割线中每个切割线的两端,形成多个并相互隔开,用于连接基片与掩模片。