公开(公告)号：CN117153298A

公开(公告)日：2023-12-01

申请号：CN202310733235.0

申请日：2023-06-20

Applicant: 中山火炬职业技术学院

Inventor： 魏以婧 ,  项剑 ,  郑新 ,  王丽荣 ,  石澎 ,  吴文森 ,  梁怡婷 ,  潘旭辉

IPC: G16C60/00 ,  G01B11/06 ,  G01N21/55 ,  G01N21/59 ,  G06F30/20

Abstract: 本发明公开了一种基于椭偏法的薄膜参数反向优化方法，包括有S1清洁待测薄膜样品；S2将待测薄膜样品进行区域划分，选取中部区域网格以及其四侧邻近的区域网格为测量区域，对各测量区域进行十字点位测量，得到各测量区域的偏振角参数和ρ光与s光的反射相位差参数以及得到各测量区域有的各透过率、反射率；S3对各测量区域的偏振角参数和ρ光与s光的反射相位差参数进行建模及拟合，得到各测量区域的膜层厚度、消光系数；S4对各测量区域的膜层厚度、消光系数进行对比，计算得到膜层厚度平均数、消光系数；S、根据计算得到的膜层厚度平均数、消光系数进行膜系设计，控制设计与实际镀制差距进行反向优化，实现设计膜厚与实际膜厚一致。

公开(公告)号：CN116469900A

公开(公告)日：2023-07-21

申请号：CN202310412218.7

申请日：2023-04-17

Applicant: 中山火炬职业技术学院

Inventor： 王丽荣 ,  石澎 ,  吴姚莎 ,  陈铭苑 ,  潘旭辉 ,  梁怡婷 ,  吕惠成

IPC: H01L27/146

Abstract: 本发明公开了可见光与中红外双光谱通道薄膜器件及制备方法，其中，可见光与中红外双光谱通道薄膜器件，包括基底和设于基底一侧的类长波通膜系，类长波通膜系包括若干层交替镀制的高折射率膜层和低折射率膜层；高折射率膜层采用硒化锌或硫化锌真空电阻蒸发而成，并采用离子束辅助沉积使得高折射率膜层表现为压应力或张应力状态；低折射率膜层采用氟化物真空电子束蒸发而成，并采用离子束辅助沉积使得低折射率膜层表现为张应力状态；基底为蓝宝石基底。该可见光与中红外双光谱通道薄膜器件通过光学薄膜技术将两波段的探测通道集成到一个镜片中，综合两种探测图像的特征数据，实现信息互补，使获得的目标或场景更加可靠、更加准确、描述更加全面。