公开(公告)号：CN102884348B

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN201180021294.0

申请日：2011-03-08

Applicant: 中央硝子株式会社 ,  练木股份有限公司

Inventor： 梅崎智典 ,  田仲健二 ,  八尾章史 ,  宫崎达夫 ,  毛利勇 ,  川岛忠幸 ,  竹田胜 ,  宫崎功司 ,  上长康一 ,  佐治公一

IPC: F16K7/12 ,  F16J3/02 ,  F16K1/30 ,  F16K27/00

CPC classification number: F16K1/302 ,  F16J3/02 ,  F16K7/126 ,  F16K7/14 ,  F16K7/16 ,  F16K25/00 ,  F17C2205/0329 ,  F17C2205/0385 ,  F17C2205/0394 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2260/036 ,  F17C2270/0518

Abstract: 本发明提供一种卤素气体或卤素化合物气体的填充容器用阀。根据本发明，直接接触型隔膜阀包括：阀主体，其设有入口通路和出口通路；阀室，其用于与阀主体的入口通路和出口通路相连通；阀座部，其设于入口通路的内端开口部；膜片，其设于阀座部的上方，用于保持阀室内的气密状态，并且用于开闭入口通路及出口通路；阀杆，其用于使膜片的中央部向下方下降；驱动部，其用于使阀杆沿上下方向移动，该直接接触型隔膜阀的特征在于，在阀座部与膜片相接触的接触面中，阀座部的接触面的表面粗糙度Ra的值为0.1μm～10.0μm，阀座部的接触面的曲率半径R为100mm～1000mm，膜片与阀座部相接触的接触面积Sb同膜片的气体接触部表面积Sa的面积比率Sb/Sa为0.2％～10％。本发明的阀具有充分的气密性，可以较佳地用作卤素气体或卤素化合物气体用的填充容器用阀。