公开(公告)号：CN101896423B

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：CN200880120633.9

申请日：2008-12-19

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 田中久雄 ,  毛利勇 ,  田仲健二

IPC: C01B21/083 ,  C01B7/24

CPC classification number: C01B7/24 ,  C01B21/0832 ,  C01B21/0835

Abstract: 一种氟化气体化合物制造装置，利用下述区域形成循环系统，所述区域为：使含有前述原料液体的混合液体与原料气体反应的反应区域；只有前述混合液体流动的流动区域；使反应后的前述混合液体从前述反应区域的上部向前述流动区域的上部流动的上部移动区域；使前述混合液体从前述流动区域的下部向前述反应区域的下部移动的下部移动区域，通过(A)将前述原料气体导入前述反应区域的下部并(B)将作为前述反应区域反应生成物的第一氟化气体化合物及使该第一氟化气体化合物进一步氟化获得的第二氟化气体化合物中选择出来的至少一种氟化气体化合物导入，使前述混合液体循环。

公开(公告)号：CN101896423A

公开(公告)日：2010-11-24

申请号：CN200880120633.9

申请日：2008-12-19

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 田中久雄 ,  毛利勇 ,  田仲健二

IPC: C01B21/083 ,  C01B7/24

CPC classification number: C01B7/24 ,  C01B21/0832 ,  C01B21/0835

Abstract: 一种氟化气体化合物制造装置，利用下述区域形成循环系统，所述区域为：使含有前述原料液体的混合液体与原料气体反应的反应区域；只有前述混合液体流动的流动区域；使反应后的前述混合液体从前述反应区域的上部向前述流动区域的上部流动的上部移动区域；使前述混合液体从前述流动区域的下部向前述反应区域的下部移动的下部移动区域，通过(A)将前述原料气体导入前述反应区域的下部并(B)将作为前述反应区域反应生成物的第一氟化气体化合物及使该第一氟化气体化合物进一步氟化获得的第二氟化气体化合物中选择出来的至少一种氟化气体化合物导入，使前述混合液体循环。