全石墨烯族柔性有机场效应管及其制造方法

    公开(公告)号:CN105576123B

    公开(公告)日:2018-07-20

    申请号:CN201610021272.9

    申请日:2016-01-08

    Abstract: 本发明提出了全石墨烯族有机场效应管及其制备方法,利用石墨烯族材料的稳定性和高迁移率提高场效应管的电学性能,同时石墨烯族半导体材料用旋涂工艺可获得高质量薄膜,降低了生产中对设备的要求,同时利用氧化石墨烯飞秒激光还原技术可直接在介质层上形成电极,可通过软件控制实现自动化生产,便于大面积制备,生产成本低。本发明所述的全石墨烯族有机场效应管有两种结构,分别为底栅顶接触有机场效应管和底栅底接触有机场效应管,区别在于两者的源电极和漏电极位置不同。本发明可应用于柔性电路的制造,如柔性显示屏、智能可穿戴设备、生物传感器等,对未来有机集成电路的进一步的应用提供了方案。

    一种单栅柔性有机存储器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN105702863A

    公开(公告)日:2016-06-22

    申请号:CN201510393421.X

    申请日:2015-07-01

    CPC classification number: H01L51/004 H01L51/0008

    Abstract: 本发明涉及一种单栅柔性有机存储器件及其制备方法,主要由衬底、栅电极、介质层、有机半导体层、源电极和漏电极构成。本发明以柔性材料聚酰亚胺作为柔性衬底,制备的存储器件具有良好的柔性和机械强度。有机驻极体材料作为介质层,利用有机驻极体在外加电场下可以俘获和释放电荷的性质,调控阈值电压实现存储器件的功能,提高了存储器件的存储时间和使用寿命,同时本发明采用旋涂、磁控溅射和真空热蒸发的方法制备,工艺简单,可大面积制备,可有效降低生产成本。

    一种双层浮栅柔性有机存储器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN105576124A

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201610031126.4

    申请日:2016-01-14

    Abstract: 本发明涉及一种双层浮栅柔性有机存储器件及其制备方法,本发明主要由衬底、介质层、控制栅、阻挡层、第一浮栅层、隔离层、第二浮栅层、隧穿层、有机半导体层、源电极和漏电极构成,其中源电极和漏电极位于隧穿层之上。采用双层的金纳米晶作为浮栅层,有利于提高存储器件的存储窗口,增大工作电压范围;利用飞秒激光还原技术,减少中间反复沉积电极的环节,简化了生产流程,降低了生产中的污染掺杂,有利于提高产品良率;本发明所用的阻挡层、隔离层、遂穿层都是采用高介电常数的氧化石墨烯,可有效降低泄露电流,提升存储器的稳定性,可降低工作电压;本发明所用的材料均具有柔性,可弯曲,可应用于柔性电路。本发明所述制备过程用到的飞秒激光还原技术、真空热蒸发和旋涂技术,工艺成熟,生产成本低,可实现大规模生产。

    一种悬臂梁结构的震动传感有机场效应晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN106744641A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201510807714.8

    申请日:2015-11-20

    Abstract: 本发明提供的一种悬臂梁结构的震动传感有机场效应晶体管,其结构如图1所示,包括衬底(1)、悬臂梁(2)、源电极(301)、漏电极(302)、栅电极(303)、有机半导体层(4)、绝缘层(5)和过冲保护层(6);绝缘层采用悬臂梁结构,在外力的作用下悬臂梁会发生形变;过冲保护层能防止悬臂梁在外力作用下超限制形变,当悬臂梁受到过大的向下方外力作用时,悬臂梁会受到过冲保护层的阻挡防止继续形变,从而保护悬臂梁使其不被损坏;有机半导体层覆盖于横梁上方,悬臂梁受到震动影响时有机半导体层和绝缘层界面处发生变化,有机场效应晶体管迁移率发生改变。

    柔性有机薄膜湿度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN106324063A

    公开(公告)日:2017-01-11

    申请号:CN201510393424.3

    申请日:2015-07-01

    Abstract: 本发明提供了柔性有机薄膜湿度传感器及其制备方法,其结构如图1所示,由图可知该晶体管为底栅顶接触式,包括源电极(1)、漏电极(2)、有机半导体层(3)、绝缘层(4)、栅电极(5)和衬底构成栅电极的材料为ITO;构成绝缘层的材料为聚甲基丙烯酸甲酯,厚度为490nm;构成有机半导体层的材料为并五苯,厚度为40nm;构成源电极和漏电极的材料为金属金,厚度为60nm,位于有机半导体层两端;该柔性有机薄膜湿度传感器在固定源漏电压和栅源电压下,不同的湿度表现出不同的输出电流(最大可达到2倍差异),这个现象显示出湿度传感器的特性。(6);该传感器中,构成衬底的材料为聚酰亚胺;

    一种可同时感应湿度和气体的柔性有机薄膜电容传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN105319245A

    公开(公告)日:2016-02-10

    申请号:CN201510348925.X

    申请日:2015-06-16

    Abstract: 本发明提供的一种可同时感应湿度和气体的柔性有机薄膜电容传感器,其结构如图1所示,包括衬底(1)、下电极(2)、湿度敏感层(3)、气体敏感层(4)、两个介质层(501、502)和两个上电极(601、602);该传感器中,构成衬底的材料为PET;构成下电极的材料为ITO;构成湿度敏感层的材料为聚酰亚胺或聚甲基丙烯酸甲酯;构成气体敏感层的材料为丙基-三甲氧基硅烷或3-二乙基氨丙基-三甲氧基硅烷;构成介质层的材料为绝缘有机物,分别位于气体敏感层的两侧,中间部分暴露在外部;构成两个上电极的材料为金属金,分别位于两个介质层之上。

    一种悬臂梁结构的震动传感有机场效应晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN106744641B

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201510807714.8

    申请日:2015-11-20

    Abstract: 本发明提供的一种悬臂梁结构的震动传感有机场效应晶体管,包括衬底(1)、悬臂梁(2)、源电极(301)、漏电极(302)、栅电极(303)、有机半导体层(4)、绝缘层(5)和过冲保护层(6);绝缘层采用悬臂梁结构,在外力的作用下悬臂梁会发生形变;过冲保护层能防止悬臂梁在外力作用下超限制形变,当悬臂梁受到过大的向下方外力作用时,悬臂梁会受到过冲保护层的阻挡防止继续形变,从而保护悬臂梁使其不被损坏;有机半导体层覆盖于横梁上方,悬臂梁受到到震动影响时有机半导体层和绝缘层界面处发生变化,有机场效应晶体管迁移率发生改变。

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