一种补偿单透镜球差的光学抗反射多层膜的设计制备方法

    公开(公告)号:CN104777529A

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN201510159629.5

    申请日:2015-04-07

    CPC classification number: G02B1/115

    Abstract: 本发明公开了一种补偿单透镜球差的光学抗反射多层膜的设计制备方法,包括:1)计算线偏振光经过单透镜后出瞳面处球差所产生波前差a,建立波前差a和入射角之间的函数关系,对波前差a取反并除以2π取余数,得到波前差b;2)对波前差b数个区间里的值分别取平均值,得到离散分布的波前差c;3)针对数个区间,分别优化设计相应的膜系。以对应入射角下的波前差c为该区间的光学抗反射薄膜设计的优化目标,进行光学抗反射薄膜的优化设计;4)将设计所得的数个光学抗反射多层膜按入射角度从小到大进行拼接,得到压缩单透镜球差的光学抗反射薄膜。

    一种补偿单透镜球差的光学抗反射多层膜的设计制备方法

    公开(公告)号:CN104777529B

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:CN201510159629.5

    申请日:2015-04-07

    Abstract: 本发明公开了一种补偿单透镜球差的光学抗反射多层膜的设计制备方法,包括:1)计算线偏振光经过单透镜后出瞳面处球差所产生波前差a,建立波前差a和入射角之间的函数关系,对波前差a取反并除以2π取余数,得到波前差b;2)对波前差b数个区间里的值分别取平均值,得到离散分布的波前差c;3)针对数个区间,分别优化设计相应的膜系。以对应入射角下的波前差c为该区间的光学抗反射薄膜设计的优化目标,进行光学抗反射薄膜的优化设计;4)将设计所得的数个光学抗反射多层膜按入射角度从小到大进行拼接,得到压缩单透镜球差的光学抗反射薄膜。

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