公开(公告)号：CN112198576A

公开(公告)日：2021-01-08

申请号：CN202011084414.9

申请日：2020-10-12

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 陈亮 ,  蒋宇飞 ,  赵士龙 ,  徐时清 ,  郭凌伟 ,  徐玮鑫

IPC: G02B5/18 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种体全息布拉格反射镜的紫外曝光方法，包括如下步骤：(1)让一束平行的紫外光垂直入射双棱镜的底面、从双棱镜的两个侧面分波面出射两束平行光，出射的两束平行光在双棱镜前方形成干涉条纹。(2)让干涉条纹照射在所述PTR玻璃上、对干涉条纹进行记录；在T时间内所述PTR玻璃上形成体全息布拉格光栅。本发明的曝光方法专门针对体全息布拉格反射镜而设计，通过一块双棱镜进行分波面干涉，并且在干涉条纹处用PTR玻璃记录，可以通过控制双棱镜的底角来精准确定体全息布拉格光栅的周期，而不需要人手调节，大大增加了制作精准度和效率。同时也避免了双光束干涉的不稳定性带来的周期的偏差和环境震动带来的干涉条纹周期的不确定性。

公开(公告)号：CN112198575A

公开(公告)日：2021-01-08

申请号：CN202011084412.X

申请日：2020-10-12

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 陈亮 ,  蒋宇飞 ,  赵士龙 ,  徐时清 ,  郭凌伟 ,  徐玮鑫

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种横向啁啾体全息布拉格光栅的制备方法，包括如下步骤：(1)让一束发散的紫外光束垂直入射双棱镜的底面、从双棱镜的两个侧面分波面出射两束平行光，出射的两束平行光在双棱镜前方形成干涉条纹。(2)让干涉条纹照射在所述PTR玻璃上，所述PTR玻璃上在T时间内形成横向啁啾体全息布拉格光栅。保证双棱镜和PTR玻璃的相对静止。本发明中通过双棱镜分波面实现的双光束干涉，可以避免环境震动带来的干涉条纹周期的不确定性，本方法相对于已有报道的相位板法成本更低，约是相位板法成本的四分之一，而且效果更好，因为现有的相位板法存在零级衍射，会影响横向啁啾体全息布拉格光栅的质量，而本方法是没有这个问题的。