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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107957251B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201610905555.X
申请日：2016-10-18
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种基于计算机辅助校正的反射球面通用化检测方法，利用逆向哈特曼检验光路结构，提出了采用计算机辅助技术对测量系统结构位置参数进行优化，有效降低了系统结构位置参数误差对面形检测结果的影响。本发明利用传统的三维坐标测量设备对测量系统结构位置参数进行预标定，再对待测反射球面进行局部斜率测量，利用积分法得到面形误差数据，在此基础上利用计算机辅助技术，通过数值迭代优化算法对系统结构位置参数进行进一步优化，进而对测量系统结构位置参数标定误差进行有效校正，由此实现通用化的反射球面测量。本发明为反射球面的高精度测量提供一种通用化可行方法，并具有极其重要的实际应用价值。
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公开(公告)号：CN106643507B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201710077177.5
申请日：2017-02-13
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了基于双通道点衍射干涉的三坐标测量装置，包括偏振激光器发出的激光经过第一偏振分光棱镜被分成透射光和反射光，沿所述透射光传播方向，设置有第三偏振分光棱镜；沿所述反射光传播方向依次设置有四分之一波片、反光镜；沿所述反射光经过反射镜反射后的传播方向，在所述第一偏振分光棱镜之后，还设置有第二偏振分光棱镜；沿光的传播方向，所述第二偏振分光棱镜和第三偏振分光棱镜之后分别设置有一对光纤耦合器以及与所述光线耦合器连接的亚微米孔径光纤。另外，本发明还公开了一种基于双通道点衍射干涉的三坐标测量方法。采用本发明，实现了三个方向上的高精度测量，提高了点衍射三维测量的精度。
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公开(公告)号：CN105527027B
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201610008014.7
申请日：2016-01-05
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明涉及一种亚微米孔径光纤点衍射波前测量的结构误差校正方法，通过无成像镜头的CCD探测器获取原始剪切波前数据，利用三维坐标重构对剪切波面数据进行预校正，再获取180度旋转测量探头后的预校正数据，将二者叠加，消除两点衍射源偏移引入的结构误差，得到真实剪切波面数据，再根据差分泽尼克多项式拟合方法拟合得到待测的亚微米孔径光纤点衍射波前，实现亚微米孔径光纤点衍射波前的高精度测量。
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公开(公告)号：CN106643507A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201710077177.5
申请日：2017-02-13
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01B11/005
Abstract: 本发明公开了基于双通道点衍射干涉的三坐标测量装置，包括偏振激光器发出的激光经过第一偏振分光棱镜被分成透射光和反射光，沿所述透射光传播方向，设置有第三偏振分光棱镜；沿所述反射光传播方向依次设置有四分之一波片、反光镜；沿所述反射光经过反射镜反射后的传播方向，在所述第一偏振分光棱镜之后，还设置有第二偏振分光棱镜；沿光的传播方向，所述第二偏振分光棱镜和第三偏振分光棱镜之后分别设置有一对光纤耦合器以及与所述光线耦合器连接的亚微米孔径光纤。另外，本发明还公开了一种基于双通道点衍射干涉的三坐标测量方法。采用本发明，实现了三个方向上的高精度测量，提高了点衍射三维测量的精度。
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公开(公告)号：CN107957251A
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201610905555.X
申请日：2016-10-18
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种基于计算机辅助校正的反射球面通用化检测方法，利用逆向哈特曼检验光路结构，提出了采用计算机辅助技术对测量系统结构位置参数进行优化，有效降低了系统结构位置参数误差对面形检测结果的影响。本发明利用传统的三维坐标测量设备对测量系统结构位置参数进行预标定，再对待测反射球面进行局部斜率测量，利用积分法得到面形误差数据，在此基础上利用计算机辅助技术，通过数值迭代优化算法对系统结构位置参数进行进一步优化，进而对测量系统结构位置参数标定误差进行有效校正，由此实现通用化的反射球面测量。本发明为反射球面的高精度测量提供一种通用化可行方法，并具有极其重要的实际应用价值。
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