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实用新型
基于银膜亚波长圆孔阵列传感单元的EOT折射率传感器有权

公开(公告)号：CN217425200U

公开(公告)日：2022-09-13

申请号：CN202220963975.4

申请日：2022-04-20

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 张钰 , 赵郝鑫 , 束方洲 , 赵春柳 , 董洁 , 康娟

IPC: G01N21/41

Abstract: 本实用新型公开了基于银膜亚波长圆孔阵列传感单元的EOT折射率传感器，其特征包括宽带光源、亚波长圆孔阵列传感单元、光谱分析仪。亚波长圆孔阵列传感单元以二氧化硅为衬底，并镀上周期性亚波长孔洞阵列的银膜；宽带光源垂直入射到亚波长圆孔阵列传感单元上，银膜表面产生表面等离子体共振效应，引起异常光透射效应，表面等离子体共振效应的光波以表面等离子波的形式存在，剩余的光波继续传播，透射谱被光谱仪接收，当圆孔阵列中折射率发生变化时，通过检测波长的漂移量，结合SPR传感器的特性，现折射率实时的在线检测。本实用新型提出一种具有实用、低成本、高灵敏度、响应速度快的基于银膜亚波长圆孔阵列传感单元的折射率传感器。

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