Patent search ap:("中国计量大学") AND inv:"吴益泽" Page 1

1.

发明公开
一种基于双光纤点衍射干涉的六自由度绝对位移测量装置无效

公开(公告)号：CN112504130A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN202011235738.8

申请日：2020-11-09

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 沈芳沅 , 陈睿智 , 王宇静 , 夏君陶 , 吴益泽 , 张姿琪 , 刘烨敏

IPC: G01B11/02 , G01B9/02 , G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种基于双光纤点衍射干涉的六自由度绝对位移测量装置，运用于测量技术领域。所述的测量装置包括：计算机、偏振相机、单纵模激光器、光纤、光纤耦合器、透镜组，所述的偏振相机可以实现一帧图像同时获取4个偏振方向对应4个通道干涉信息；所述的单纵模激光器能产生高亮度和高峰值功率的激光；所述的光纤耦合器能够将激光耦合进光纤中。本发明对用于面形检测的传统点衍射干涉光路进行改进，将其运用到六自由度绝对位移测量领域，摆脱了导轨的限制，为物体绝对位移测量提供了一种高精度、低成本、多维度的瞬态测量方法。

Patent Agency Ranking