公开(公告)号：CN119512250A

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202411620754.7

申请日：2024-11-13

Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所

Inventor： 柴塬 ,  胡艳青 ,  孟苏 ,  陈德奇 ,  刘彬 ,  陈洁新

IPC: G05D22/02 ,  G01N27/00

Abstract: 本发明公开了一种用于MEMS湿敏器件的测试与校准的变压调湿装置和方法，所述装置包括气源、第一背压式调压阀、饱和器、恒温系统及水路、第二背压式调压阀、质量流量控制器；来自气源的气体经过第一背压式调压阀进入饱和器，再经过第二背压式调压阀进入MEMS湿敏器件测量腔，MEMS湿敏器件测量腔的出气口连接质量流量控制器，质量流量控制器控制MEMS湿敏器件测量腔内气体流量；第一背压式调压阀控制饱和器内压力，第二背压式调压阀控制MEMS湿敏器件测量腔内压力，恒温系统及水路对饱和器进行温度调节，饱和器产生的湿气进入MEMS湿敏器件测量腔进行测量和校准。本发明能够实现宽范围、高准确性、高稳定性特定湿度参数的快速响应，实现对MEMS湿敏器件的有效测校。

公开(公告)号：CN119680466A

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202411765788.5

申请日：2024-12-03

Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所

Inventor： 胡艳青 ,  柴塬 ,  孟苏 ,  陈洁新 ,  陈德奇 ,  刘彬

IPC: B01J7/02 ,  F28D7/04

Abstract: 本发明公开了一种大流量高稳定性饱和气体发生装置，包括恒温水箱、循环水入口管路、循环水出口管路、气泡发生器、热质交换器、气液分离器、进气管路、出气管路；所述恒温水箱用于产生温度恒定且可调的循环水，所述循环水入口管路和循环水出口管路用于连接所述恒温水箱和热质交换器，所述进气管路用于将未饱和气体流入所述热质交换器和气泡发生器，所述气泡发生器用于使流入的未饱和气体形成气泡，所述热质交换器用于通过气泡与液态水接触产生饱和湿气，所述气液分离器用于阻挡过饱和湿气中夹带的液滴，所述出气管路用于流出饱和湿气。本发明能够产生宽露点范围、大流量、高稳定性的饱和湿气。