-
公开(公告)号:CN113834639B
公开(公告)日:2024-09-27
申请号:CN202111147482.X
申请日:2021-09-29
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 基于像素级偏振片的消畸变超微纳光学系统,涉及空间光学技术领域。解决现有星载海洋遥感中系统实现成本高、结构复杂、无法实时观测等问题,包括地面矫正镜与航天防辐射镜组、双高斯成像镜组、像质矫正镜组、像素级探测器等四部分组成。目标发射的光束经过外遮光罩滤过部分杂散光,经成像镜组与像质校正镜组,最终成像与接收像素级偏振探测器处,所述接收像面所得到的为目标0°、45°、90°、135°的四张海洋目标的偏振图像信息;所述的光学系统设置视场光阑和内外遮光罩。本发明光学系统设计成双高斯物镜的形式,严格控制了光学系统总长,用于星载成像时节约星上空间,降低相机质量,节省发射成本。
-
公开(公告)号:CN116736476A
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN202311002564.4
申请日:2023-08-10
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G02B7/182
Abstract: 本发明公开了一种大口径长条形反射镜无应力装配结构,包括长条形反射镜,锥套,支撑和基板。反射镜是一个具有离轴孔径的长条形结构,反射镜的镜面镀有高反射膜;锥套上底边连接支撑结构;支撑结构是一个具有柔性板簧的棱柱体;板簧转轴位置、分布角度和几何尺寸通过有限元优化分析确定;基板是一个下底中空的长方体箱体,基板上端面预留和柔性支撑连接的基面和接口,本发明的一种大口径长条形反射镜无应力装配结构,采用三点支撑方式固定反射镜,适用于大长宽比(超过4:1)的长条形反射镜。可调节镜面相对于基板的安装角度,便于相机整机装调。特别是要求反射镜长边沿着重力方向(X向)装调的情况下,可提高反射镜的稳定性,保证面形支撑精度。
-
公开(公告)号:CN114509865A
公开(公告)日:2022-05-17
申请号:CN202011278404.9
申请日:2020-11-16
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G02B17/06
Abstract: 本发明涉及一种可见光‑长波红外共口径成像的同轴四反光学系统,属于光学系统技术领域。解决了现有技术中可见光/红外复合成像系统的轴向长度紧凑性、成像质量有待提高的技术问题。本发明的光学系统,包括主反射镜、第一透射镜、第三反射镜、第四反射镜、第二透射镜、第三透射镜和第四透射镜。该光学系统同时具备可见光全色、可见光多光谱、长波红外的成像功能,降低了空间遥感器对地面光照条件的要求,实现了全天时的空间光学遥感侦察与动态监视,提高了空间光学载荷的功能密度与性价比,结构紧凑,畸变低,杂光抑制性好并且便于加工装调。
-
公开(公告)号:CN105259651B
公开(公告)日:2017-12-26
申请号:CN201510726021.6
申请日:2015-10-30
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G02B26/06
Abstract: 一种能够产生多种像差的变形镜装置,属于光学系统的系统像差补偿领域,为解决现有专利中存在的无法仅在延伸件上加载力就能实现轴向力、切向力矩、径向力矩的同时加载,难以控制有效像差的精度和刚体位移误差的问题,该装置光学元件与可变形镜框之间通过胶粘或压紧的方式连成镜框组件,多个驱动器分别固定在可变形镜框的外环上,并将输入力作用在可变形镜框的驱动臂上;所述可变形镜框是由周向均布的多个挠性块连接镜框外环和镜框内环的一体式结构,每两个相邻挠性块中间分布有一处驱动臂;所述驱动臂与镜框内环相连,与镜框外环之间通过线切割狭缝隔离;驱动臂截面为十字梁结构形式,八个驱动器分别作用在十字梁的四个端部的上下两侧。
-
公开(公告)号:CN107145041A
公开(公告)日:2017-09-08
申请号:CN201710519545.7
申请日:2017-06-30
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70275 , G03F7/70716 , G03F7/70758
Abstract: 本发明提供的光学元件六自由度定位调节装置,包括镜筒、三组用于进行双自由度调节的调节支链及用于承载光学元件的支撑镜框,所述支撑镜框的下表面分别与所述调节支链的上部输出端连接,所述调节支链的下端安装面与所述镜筒的上表面固定连接,在每个调节支链的带动下,所述镜框可产生两个自由度的位移,所述镜框带动所述光学元件实现六自由度精密位移调节,通过控制六个驱动器的进给量,实现光学元件六个自由度的移动和转动位移量调节,具有实时位移调节能力,可以满足光刻物镜装调和维护时的六自由度位移精密调节需求,本发明还提供了具有上述光学元件六自由度定位调节装置的投影物镜和光刻机。
-
公开(公告)号:CN105137562B
公开(公告)日:2017-04-26
申请号:CN201510665090.0
申请日:2015-10-15
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G02B7/00
Abstract: 本发明公开了一种光学元件三自由度微位移调节装置,包括:镜筒(1)、用于光学元件放置的镜框(2)和分别与镜筒(1)、镜框(2)连接的三自由度调节装置,该三自由度调节装置可驱动镜框(2)相对镜筒(1)沿X、Y、Z三个自由度进行移动,实现光学元件位移调节的目的;该位移调节装置具有结构简单,设计合理,调节精度高,方便加工等优点。
-
公开(公告)号:CN103472560B
公开(公告)日:2016-11-23
申请号:CN201310442669.1
申请日:2013-09-25
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G02B7/02
Abstract: 透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置,属于光刻物镜结构设计与像差补偿领域,为解决现有技术光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置加工工艺难度大、加工成本高的问题,该装置包括透镜、镜框和三个驱动器,所述镜片与镜框之间通过胶粘的方式连接,所述三个驱动器固定在镜框上,其特征在于,所述镜框为镜框内环、镜框外环和三处周向均布的折叠铰链组成的一体化结构,所述镜框内环上周向均布有三处驱动器施力块,所述透镜与镜框内环之间通过胶粘的方式连接;所述三个驱动器固定在镜框外环上,驱动器的输入位移作用在对应的驱动器施力块上;所述折叠铰链由切向弹片和径向弹片组成,所述切向弹片与镜框内环相连,所述径向弹片与镜框外环相连。
-
公开(公告)号:CN104216089B
公开(公告)日:2016-11-16
申请号:CN201410427122.9
申请日:2014-08-26
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置属于光刻投影物镜制造领域,目的在于解决现有技术存在的引入三叶像差和不对称像差的问题。本发明包括内镜框、外镜框和连接螺钉;所述内镜框上圆周均布多个圆柱形线性导向机构,每个圆柱形线性导向机构上设置有柔性支撑结构,多个柔性支撑结构的支撑面在同一水平面上;透镜下表面通光孔径外的支撑面分别与多个柔性支撑结构胶结固定,所述内镜框和所述外镜框通过连接螺钉固定,所述内镜框和外镜框同轴。本发明的内镜框和外镜框都可以由圆柱形钢料加工,结构紧凑,集成误差小;最后,采用多个圆柱形线性导向机构并联,保证了透镜支撑高度一致性,得到满足光刻投影物镜使用要求的高精度支撑面形。
-
公开(公告)号:CN115793179B
公开(公告)日:2025-02-28
申请号:CN202211501153.5
申请日:2022-11-28
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种反射镜中心支撑结构,属于空间光学遥感技术领域,本发明包括能够置于反射镜镜体中心孔内的芯轴、与所述芯轴拆卸连接的基板;其中,所述芯轴包括法兰盘和周向形成在所述法兰盘外侧的柔性支撑部,所述基板中部形成有能够伸入所述中心孔内的凸起部,用于与所述法兰盘拆卸连接,以便支撑所述芯轴与所述反射镜镜体的质心保持一致,本发明具有反射镜镜体、芯轴、基板之间定位精准高,且反射镜镜面的面形精度高的有益效果。
-
公开(公告)号:CN117031683A
公开(公告)日:2023-11-10
申请号:CN202311166701.8
申请日:2023-09-11
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G02B7/182
Abstract: 本发明涉及一种同轴两反空间光学系统六叶氮化硅桁架支撑结构,包括:设置在上端的次镜支撑板,以及设置在所述次镜支撑板下方的第一上支撑杆连接件、第二上支撑杆连接件和第三上支撑杆连接件;设置在下端的第一下支撑杆连接件,第二下支撑杆连接件和第三下支撑杆连接件;设置在下端的第一加强环,第二加强环和第三加强环;设置在中间的六个支撑杆,每个所述支撑杆均为空心圆柱杆结构。本发明的同轴两反空间光学系统六叶氮化硅桁架支撑结构,通过设置空心圆柱杆结构的支撑杆,在下端设置加强环,具有比刚度高、装配灵活、形式简单、设计性强等优点,同时,该支撑结构的刚度、强度、定位精度及稳定性高,装配灵活,加工制造难度低。
-
-
-
-
-
-
-
-
-