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公开(公告)号:CN107621356B
公开(公告)日:2024-05-03
申请号:CN201711051473.4
申请日:2017-10-31
Applicant: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
IPC: G01M11/04
Abstract: 本发明公开了一种显微镜焦点偏移测量设备。包括激光器,发射光束;空间滤波模块,由两块中心轴重合布置的透镜以及位于两块透镜之间的一针孔构成,对光束进行滤波处理;可调小孔,调整视场光阑;缩束模块,缩小光束的直径;分束镜,分成透射与反射两束光;图像传感器,获取光斑在图像传感器上的位移。光束由激光器发出,依次经过空间滤波模块、可调小孔、缩束模块、分束镜和显微镜的物镜,经物镜汇聚后经过盖玻片的上下表面的反射行成两条光束,两条光束依次经过物镜、分束镜的透射成像在图像传感器上。图像传感器采用线阵CCD。采用此发明排除盖玻片下表面反射光斑的干扰,提高光斑定位的精度,提高设备稳定性和响应速度。
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公开(公告)号:CN107621356A
公开(公告)日:2018-01-23
申请号:CN201711051473.4
申请日:2017-10-31
Applicant: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
IPC: G01M11/04
Abstract: 本发明公开了一种显微镜焦点偏移测量设备。包括激光器,发射光束;空间滤波模块,由两块中心轴重合布置的透镜以及位于两块透镜之间的一针孔构成,对光束进行滤波处理;可调小孔,调整视场光阑;缩束模块,缩小光束的直径;分束镜,分成透射与反射两束光;图像传感器,获取光斑在图像传感器上的位移。光束由激光器发出,依次经过空间滤波模块、可调小孔、缩束模块、分束镜和显微镜的物镜,经物镜汇聚后经过盖玻片的上下表面的反射行成两条光束,两条光束依次经过物镜、分束镜的透射成像在图像传感器上。图像传感器采用线阵CCD。采用此发明排除盖玻片下表面反射光斑的干扰,提高光斑定位的精度,提高设备稳定性和响应速度。
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公开(公告)号:CN208313565U
公开(公告)日:2019-01-01
申请号:CN201721428876.1
申请日:2017-10-31
Applicant: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
IPC: G01M11/04
Abstract: 本实用新型公开了一种显微镜焦点偏移测量设备。包括激光器,发射光束;空间滤波模块,由两块中心轴重合布置的透镜以及位于两块透镜之间的一针孔构成,对光束进行滤波处理;可调小孔,调整视场光阑;缩束模块,缩小光束的直径;分束镜,分成透射与反射两束光;图像传感器,获取光斑在图像传感器上的位移。光束由激光器发出,依次经过空间滤波模块、可调小孔、缩束模块、分束镜和显微镜的物镜,经物镜汇聚后经过盖玻片的上下表面的反射行成两条光束,两条光束依次经过物镜、分束镜的透射成像在图像传感器上。图像传感器采用线阵CCD。采用此实用新型排除盖玻片下表面反射光斑的干扰,提高光斑定位的精度,提高设备稳定性和响应速度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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