公开(公告)号：CN115980048A

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN202310103043.1

申请日：2023-01-18

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

Inventor： 姚懿容 ,  柯培玲 ,  李明 ,  卢焕明 ,  沈圣成 ,  龚应飞 ,  蒋蓉蓉 ,  管建敏

IPC: G01N21/84 ,  G01N21/01 ,  G01N23/2251 ,  G01N23/2206 ,  G01N23/2204 ,  G01Q60/00 ,  G01Q30/00 ,  G01Q30/04

Abstract: 本发明公开了一种不同显微设备联用的显微分析方法及共享坐标系统，属于材料微观结构研究技术领域。共享坐标系统包括：压电陶瓷台，其连接有控制器；样品托固定架，其与所述压电陶瓷台可拆卸连接；样品托，其安装在所述样品托固定架上并用于放置样品。基于上述共享坐标系统，通过不同显微分析设备与样品托之间的坐标定位以及坐标转换，实现不同显微分析设备对样品同一微区进行耦合表征的目的，该方法普适性高，即使是不同生产商生产的显微设备也可联用，并且定位精度高，确保联用效果好。