一种以金属性氮化物为导电基底的光电极及其制备方法

    公开(公告)号:CN104134546A

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201310158980.3

    申请日:2013-05-02

    Abstract: 本发明公开一种光电极及其制备方法。金属性氮化物基底作为电流收集体,非全氧化物半导体光活性层与其紧密接触,半导体表面无或者有以助催化剂修饰,组成光电化学光电极。首先,制备导电的金属性氮化物基底。其薄膜方块电阻可低到1.8Ω/sq,电阻率0.16mΩ/cm,优于商品化FTO和ITO。其次,沉积或涂覆半导体或者含半导体金属组分的前驱体,于惰性气氛或者半导体非金属组分的氢化物气氛下高温处理。金属性氮化物基底能在惰性或氢化物气氛高温处理(如氨气中至900℃)后保持导电性,适合于高温制备非全氧化物半导体光电极过程,整个光电极制备过程易于工业化。该光电极可能用于光电化学利用太阳能分解水和制氢气、转化二氧化碳等用途。

    一种以金属性氮化物为导电基底的光电极及其制备方法

    公开(公告)号:CN104134546B

    公开(公告)日:2017-09-15

    申请号:CN201310158980.3

    申请日:2013-05-02

    Abstract: 本发明公开一种光电极及其制备方法。金属性氮化物基底作为电流收集体,非全氧化物半导体光活性层与其紧密接触,半导体表面无或者有以助催化剂修饰,组成光电化学光电极。首先,制备导电的金属性氮化物基底。其薄膜方块电阻可低到1.8Ω/sq,电阻率0.16mΩ/cm,优于商品化FTO和ITO。其次,沉积或涂覆半导体或者含半导体金属组分的前驱体,于惰性气氛或者半导体非金属组分的氢化物气氛下高温处理。金属性氮化物基底能在惰性或氢化物气氛高温处理(如氨气中至900℃)后保持导电性,适合于高温制备非全氧化物半导体光电极过程,整个光电极制备过程易于工业化。该光电极可能用于光电化学利用太阳能分解水和制氢气、转化二氧化碳等用途。

Patent Agency Ranking