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公开(公告)号：CN119757230A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202510003420.3
申请日：2025-01-02
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01N21/17 , G01N21/21 , G01R33/032
Abstract: 本发明提供了一种磁光测量系统，可应用于光学测量技术领域。该系统包括：宽带光源、宽带光源性能调控模块、保偏环形器、光学相位调制解调模块、磁光光谱采集模块以及信号探测模块，其中，宽带光源产生的初始光信号经过宽带光源性能调控模块调控，得到稳定的光信号，稳定的光信号经过保偏环形器，进入光学相位调制解调模块，经过调制后产生出射光束；出射光束进入磁光光谱采集模块，经过磁光信号调制后得到在样品上的反射光束；反射光束经过光学相位调制解调模块，经过解调后发生干涉，产生干涉信号；以及干涉信号经过保偏环形器进入信号探测模块，由信号探测模块记录并生成磁光光谱。
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