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公开(公告)号:CN100589012C
公开(公告)日:2010-02-10
申请号:CN200710175972.4
申请日:2007-10-17
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种量子点光调制器有源区结构,包括:一n型衬底;一n型缓冲层生长于n型衬底之上,该n型缓冲层的生长可有效防止衬底缺陷向外延层扩展;一第一未掺杂层生长于n型缓冲层之上,提供了外加电压的作用空间;一量子点层生长于第一未掺杂层上面;一第二未掺杂层生长于量子点层之上;一势垒层生长于第二未掺杂层之上;一第三未掺杂层生长于势垒层之上,提供了外加电压的作用空间;一p型掺杂层,该p型掺杂层生长于第三未掺杂层之上,是这一结构的表面层,可用于引出正面电极。
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公开(公告)号:CN101414063A
公开(公告)日:2009-04-22
申请号:CN200710175972.4
申请日:2007-10-17
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种量子点光调制器有源区结构,包括:一n型衬底;一n型缓冲层生长于n型衬底之上,该n型缓冲层的生长可有效防止衬底缺陷向外延层扩展;一第一未掺杂层生长于n型缓冲层之上,提供了外加电压的作用空间;一量子点层生长于第一未掺杂层上面;一第二未掺杂层生长于量子点层之上;一势垒层生长于第二未掺杂层之上;一第三未掺杂层生长于势垒层之上,提供了外加电压的作用空间;一p型掺杂层,该p型掺杂层生长于第三未掺杂层之上,是这一结构的表面层,可用于引出正面电极。
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