公开(公告)号：CN109708785B

公开(公告)日：2020-10-23

申请号：CN201811605950.1

申请日：2018-12-26

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 张旭 ,  张琪 ,  鲁琳 ,  刘鸣 ,  陈弘达

IPC: G01L1/14 ,  G01B7/00

Abstract: 本发明公开了一种柔性电容型触觉传感器、电子皮肤、可穿戴设备及方法，柔性电容型触觉传感器，包括：传感层、压敏层和驱动层，其中，传感层为上电极层，用于感应触摸位置和压力；压敏层为间隔兼传输层，与传感层连接，用于传输传感层感应到的触摸位置和压力；驱动层为下电极层，与压敏层连接，用于检测和分析触摸位置和压力大小，包含多个结构相同的触觉单元以及各个触觉单元之间的绝缘部；其中，每个触觉单元的结构满足：待测接触点在不同位置时，与该待测接触点的位置对应的各个触觉单元之间的相对面积占比发生变化。该传感器可实现三维压力大小和受压位置的同时检测，具有精度高、功耗小、结构新颖、以及较高的传感灵敏度的特点。

公开(公告)号：CN109708785A

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201811605950.1

申请日：2018-12-26

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 张旭 ,  张琪 ,  鲁琳 ,  刘鸣 ,  陈弘达

IPC: G01L1/14 ,  G01B7/00

Abstract: 本发明公开了一种柔性电容型触觉传感器、电子皮肤、可穿戴设备及方法，柔性电容型触觉传感器，包括：传感层、压敏层和驱动层，其中，传感层为上电极层，用于感应触摸位置和压力；压敏层为间隔兼传输层，与传感层连接，用于传输传感层感应到的触摸位置和压力；驱动层为下电极层，与压敏层连接，用于检测和分析触摸位置和压力大小，包含多个结构相同的触觉单元以及各个触觉单元之间的绝缘部；其中，每个触觉单元的结构满足：待测接触点在不同位置时，与该待测接触点的位置对应的各个触觉单元之间的相对面积占比发生变化。该传感器可实现三维压力大小和受压位置的同时检测，具有精度高、功耗小、结构新颖、以及较高的传感灵敏度的特点。