公开(公告)号：CN107884856A

公开(公告)日：2018-04-06

申请号：CN201711460938.1

申请日：2017-12-28

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所杭州大江东空间信息技术研究院

Inventor： 卢禹先 ,  王玉清 ,  刘畅 ,  姚玉洁 ,  潘明忠 ,  尹禄

IPC: G02B5/18

CPC classification number: G02B5/1847

Abstract: 本发明涉及一种基于紫外固化的新型光栅复制方法，其包括如下步骤：S1：提供一母版光栅和基底；S2：对步骤S1所提供的母版光栅和基底进行超声波清洗；S3：在完成步骤S2后的母版光栅上均匀涂覆润滑油；S4：在完成步骤S3后的母版光栅上均匀涂覆紫外固化胶；S5：将步骤S1中所提供的基底置于经过步骤S4处理后的母版光栅上；并采用紫外光对其进行照射，使得紫外固化胶固化；S6：完成步骤S5后，将母版光栅和基底分离，使得在基底上形成复制光栅；S7：在复制光栅表面形成反射膜。本发明提出的方法可以有效提高复制光栅生产速率，解决现有复制光栅制作工艺中存在的制作周期较长，生产速率较慢这一问题，其对增加复制光栅产量具有直接的重要价值。