公开(公告)号：CN119317240A

公开(公告)日：2025-01-14

申请号：CN202411833223.6

申请日：2024-12-13

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 胡伟达 ,  王海露 ,  方悦悦 ,  付晓 ,  姚碧霂 ,  谢润章 ,  周张欣雨 ,  夏辉 ,  陆卫

IPC: H10F77/14 ,  H10F71/00 ,  H10F10/14 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明属于光电探测器技术领域，具体涉及一种可见盲红外探测器及其制备方法。本发明提供的可见盲红外探测器，包括衬底；设置在所述衬底上表面的缓冲层；设置在所述缓冲层上表面的垂直纳米线阵列；设置在所述垂直纳米线阵列的间隙内的填充层，所述填充层的厚度与所述垂直纳米线阵列的高度相同；设置在所述垂直纳米线阵列和所述填充层上表面的透明电极。本发明无需额外的滤光片，利用纳米线阵列共振吸收效应调控垂直纳米线通道中光生非平衡载流子的收集效率，并通过引入纳米线‑衬底界面陷阱态，利用光诱导栅控效应增强近红外波段范围的光响应，从而实现高效的可见盲红外探测，且具有稳定性高和制备工艺简单的优点。