公开(公告)号：CN105891878B

公开(公告)日：2019-08-27

申请号：CN201610243859.4

申请日：2016-04-19

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,  浙江工业大学

Inventor： 李宝清 ,  周乾伟 ,  刘华巍 ,  袁晓兵 ,  尹乃玉

IPC: G01V1/18

Abstract: 本发明涉及一种震动传感器，其特征在于所述的震动传感器是一种震声耦合式震动传感器，将震动波转为声波，再由传声器将声波转变为电信号输出；所述的传感器包括一个密闭空腔，空腔上面连接弹性膜片，该弹性膜片中心位置上连接有配重质量体，配重质量体通过膜支架间接连接到弹性膜片上，以达到控制接触面积的目的，密闭空腔底面则由传声器及印刷电路板密封，传声器指向密闭空腔内部，密闭空腔配以外壳。本发明解决了以往低频震动传感器体积大，重量重，以及MEMS加速度计对低频信号接收能力差等技术难题，较好的解决了传感器体积、重量与低频信号接收能力之间的矛盾。

公开(公告)号：CN105891878A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201610243859.4

申请日：2016-04-19

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,  浙江工业大学

Inventor： 李宝清 ,  周乾伟 ,  刘华巍 ,  袁晓兵 ,  尹乃玉

IPC: G01V1/18

Abstract: 本发明涉及一种震动传感器，其特征在于所述的震动传感器是一种震声耦合式震动传感器，将震动波转为声波，再由传声器将声波转变为电信号输出；所述的传感器包括一个密闭空腔，空腔上面连接弹性膜片，该弹性膜片中心位置上连接有配重质量体，配重质量体通过膜支架间接连接到弹性膜片上，以达到控制接触面积的目的，密闭空腔底面则由传声器及印刷电路板密封，传声器指向密闭空腔内部，密闭空腔配以外壳。本发明解决了以往低频震动传感器体积大，重量重，以及MEMS加速度计对低频信号接收能力差等技术难题，较好的解决了传感器体积、重量与低频信号接收能力之间的矛盾。