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公开(公告)号：CN111693480A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN202010454297.4
申请日：2020-05-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 山东大学
IPC: G01N21/3504
Abstract: 本申请提供一种竖式微型红外气体传感器，包括：微型光学气室、红外光源、红外探测器、信号转接板和ASIC芯片；微型光学气室集成于信号转接板的一侧，ASIC芯片集成于信号转接板的另一侧；红外光源和红外探测器集成于信号转接板上与微型光学气室连接的一面上；微型光学气室包括光输入端和光输出端，光输入端与红外光源连接，光输出端与红外探测器连接；微型光学气室的光路为竖式折叠反射结构；光路与信号转接板垂直设置；竖式微型红外气体传感器为系统级混合封装，红外光源和红外探测器均为芯片级封装，红外光源、红外探测器和ASIC芯片之间为板级集成封装。该红外气体传感器采用系统级混合集成封装，能够有效减小红外气体传感器的体积。
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公开(公告)号：CN114965338A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210435177.9
申请日：2022-04-24
Applicant: 山东大学
IPC: G01N21/3504 , B81B7/02
Abstract: 本发明涉及一种红外气体传感器结构及其应用，属于传感器技术领域。结构包括PCB基板、气室、MEMS光源和MEMS红外探测器，其中，气室内设置有S型气体吸收腔，气室上设置有透气孔，气室固定于PCB基板，S型气体吸收腔两端对应位置的PCB基板上分别设置有MEMS光源和MEMS红外探测器。本发明通过提高红外光耦合效率和光程提高了红外气体传感器的灵敏度和分辨率，实现红外气体传感器的高集成化。
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公开(公告)号：CN114674748A
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202210342975.7
申请日：2022-04-02
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明公开了一种基于光路优化的高集成光声气体传感器，包括基板、与基板形成密封气室的壳体以及设置于气室内的辐射源，所述气室内的基板上垂直设置有插接板，所述辐射源设置于所述插接板上；所述气室内远离辐射源的壳体内侧壁上设置吸光结构，所述气室的壳体内侧壁上设有数个弧面反射结构，所述弧面反射结构分布于气室的壳体内侧壁的上下各个位置，所述辐射源发出的光经过数个弧面反射结构反射后到达吸光结构；所述气室侧面开设气孔，所述气孔上覆盖防水透气膜；所述气室内位于基板上设置有传声器、ASIC芯片以及控制元件。本发明所公开的光声气体传感器实现了微型化和集成化目的，同时也能提高检测精度、检测灵敏度和检测极限。
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公开(公告)号：CN114720379B
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202210341775.X
申请日：2022-04-02
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明公开了一种基于光路优化的光声气体检测系统，包括光声气体探头和与光声气体探头通过透镜光纤连接的辐射源，光声气体探头包括基板和与基板形成密封气室的壳体；气室内远离透光孔的壳体内侧壁上设置吸光结构，壳体内侧壁上设有数个弧面反射结构，弧面反射结构分布于气室的壳体内侧壁的上下各个位置，辐射源发出的光经过透镜光纤进入气室内，经数个弧面反射结构反射后到达吸光结构；气室的壳体侧面开设气孔，气孔上覆盖防水透气膜；气室内位于基板上设置有传声器。本发明所公开的检测系统可以利用准直性好、光功率高的激光，并且能够减小光声气体探头体积，同时，对气室内进行光路优化，可以进一步提升检测系统的精度、灵敏度与检测极限。
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公开(公告)号：CN114720379A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210341775.X
申请日：2022-04-02
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明公开了一种基于光路优化的光声气体检测系统，包括光声气体探头和与光声气体探头通过透镜光纤连接的辐射源，光声气体探头包括基板和与基板形成密封气室的壳体；气室内远离透光孔的壳体内侧壁上设置吸光结构，壳体内侧壁上设有数个弧面反射结构，弧面反射结构分布于气室的壳体内侧壁的上下各个位置，辐射源发出的光经过透镜光纤进入气室内，经数个弧面反射结构反射后到达吸光结构；气室的壳体侧面开设气孔，气孔上覆盖防水透气膜；气室内位于基板上设置有传声器。本发明所公开的检测系统可以利用准直性好、光功率高的激光，并且能够减小光声气体探头体积，同时，对气室内进行光路优化，可以进一步提升检测系统的精度、灵敏度与检测极限。
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